| Nombre De La Marca: | ZMSH |
Substratos de SiC 6H de grado industrial para electrónica de alta temperatura, UV y de precisión
Resumen del producto
Los sustratos de carburo de silicio 6H (SiC) son obleas de cristal único de alta calidad diseñadas para aplicaciones optoelectrónicas de alta temperatura, alto voltaje y especializadas.6H ofrece un politipo hexagonal diferente con movilidad electrónica ligeramente menor pero excelente estabilidad térmica, resistencia mecánica y rentabilidad para usos de nicho como LEDs UV, sensores de alta temperatura y electrónica industrial.
![]()
![]()
Características clave
Estructura de cristal hexagonal de 6H:Asegura la estabilidad dimensional y la robustez mecánica durante el procesamiento de las obleas.
Propiedades eléctricas:Movilidad de electrones moderada adecuada para dispositivos de alta temperatura y alto voltaje; admite huellas de dispositivos más pequeñas.
Conductividad térmica (~ 390 ∼ 450 W/m·K):Difusión de calor eficiente en módulos de potencia y ambientes hostiles.
Resistencia mecánica y química:Alta dureza y resistencia a la corrosión para una fiabilidad a largo plazo.
Opciones de superficies preparadas para epi:Compatible con el crecimiento epitaxial, incluyendo el recocido de hidrógeno y el pulido de CMP.
Tamaños y espesor personalizables:Disponible en diámetros estándar o adaptado a necesidades de producción específicas.
Aplicaciones
Dispositivos y sensores de semiconductores de alta temperatura
LED UV y optoelectrónica especializada
Electrónica aeroespacial y automotriz expuesta a condiciones extremas
Electrónica industrial que requiere componentes compactos y robustos
Investigación y desarrollo en semiconductores de banda ancha
Las especificaciones técnicas (típicas y personalizables)
| Parámetro | Especificación |
|---|---|
| El material | SiC 6H de cristal único |
| Estructura de cristal | Hexagonal (6H) |
| Diámetro / tamaño | 25 mm (2′′), 50 mm (4′′), 100 mm (4′′), 150 mm (6′′), 200 mm (8′′), 300 mm (12′′); disponibles en tamaño cuadrado o personalizado |
| El grosor | 350 ‰ 1.000 μm (se puede personalizar) |
| Finalización de la superficie | CMP preparado para epi, pulido en dos lados (DSP), pulido en un solo lado (SSP) |
| Variación total del grosor (TTV) | ≤ 5 μm típico |
| Arco / Warp | ≤ 40 μm (típico de 6 pulgadas) |
| Densidad de los microtubos | El objetivo industrial es <0,1 cm−2; los grados premium <0,01 cm−2 |
| Densidad de dislocación | < 104 cm−2 (objetivo para el rendimiento de alta tensión) |
| Conductividad | Opciones de tipo N (conductivo), semi-aislante (SI) |
| Preparado para la epi | Sí compatible con el crecimiento epitaxial |
Ventajas del sustrato cuadrado
Sensores de alta temperatura y LEDs UV:Los sustratos cuadrados proporcionan una alineación precisa para los electrodos y las bases del paquete.
Electrónica industrial:Permite un diseño compacto con una alta integración, reduciendo los huecos entre el paquete y el sustrato.
Circuitos de RF y microondas (opción SI):Reducción de la pérdida de señal para aplicaciones de alta frecuencia.
Proceso de fabricación
Síntesis de polvo: materia prima de SiC de alta pureza.
Instalación de semillas: semillas de 6H colocadas en una ampolla de crecimiento.
Crecimiento a altas temperaturas: la sublimación a 2300-2500 °C forma una bola de SiC.
Cortar: la sierra de alambre de diamante corta las obleas.
Polish & Inspection: CMP o limpieza de diamantes para superficies preparadas para epi; se proporciona la metrología y el certificado de análisis (CoA).
Principales aplicaciones y casos de uso
Electrónica de alta temperatura y sensores industriales
Optoelectrónica UV
Electrónica aeroespacial y de defensa en condiciones extremas
Dispositivos de alimentación compactos de alta fiabilidad para mercados de nicho
Investigación y desarrollo y producción piloto de dispositivos semiconductores de banda ancha
Preguntas frecuentes
1¿Qué hace que los sustratos de 6H SiC sean diferentes de 4H?
6H SiC tiene un politipo hexagonal diferente, menor movilidad de electrones y ventajas rentables para aplicaciones de alta temperatura y especializadas, mientras que 4H es estándar para alta velocidad,dispositivos de alimentación de alta eficiencia.
2¿Puede el SiC 6H soportar altas temperaturas?
Sí, mantiene la estabilidad mecánica y eléctrica en ambientes térmicos extremos.
3¿Los sustratos de SiC 6H son personalizables?
Sí, el diámetro, el grosor, el acabado de la superficie y la conductividad pueden adaptarse a las necesidades de I + D o producción.
4¿Qué industrias utilizan sustratos de 6H SiC?
Sensores de alta temperatura, LEDs UV, electrónica aeroespacial, automotriz e industrial que requieren un rendimiento robusto en condiciones extremas.