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Detalles de los productos

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Sic substrato
Created with Pixso. Wafer SICOI de 4 pulgadas, 6 pulgadas, 8 pulgadas, 4H-SiC sobre aislante, película de SiC de 100 a 150 mm SOBRE silicio

Wafer SICOI de 4 pulgadas, 6 pulgadas, 8 pulgadas, 4H-SiC sobre aislante, película de SiC de 100 a 150 mm SOBRE silicio

Nombre De La Marca: ZMSH
Número De Modelo: SICOI Wafers
MOQ: 25
Precio: by case
Tiempo De Entrega: 2-4weeks
Condiciones De Pago: T/T
Información detallada
Place of Origin:
CHINA
Certificación:
rohs
Tamaño:
4 pulgadas/6 pulgadas/8 pulgadas
Rugosidad de la superficie:
Ra <0.5 nm
Dureza a la fractura:
3.5 MPa · M¹/²
CTE (4H-Sic):
4.2 × 10⁻⁶/k
Resistividad (Si):
> 1 × 10⁶ Ω · cm
Aplicaciones:
Electrónica de alta potencia, dispositivos RF
Packaging Details:
package in 100-grade cleaning room
Resaltar:

Wafer de 4H-SiC en el aislante

,

Wafer SICOI de 100 a 150 mm

,

Película de SiC sobre sustrato de silicio

Descripción de producto

Descripción general de las obleas SICOI




Oblea SICOI de 4, 6 y 8 pulgadas 4H-SiC sobre aislante de 100 a 150 mm de película de SiC SOBRE silicio



Las obleas SICOI (carburo de silicio sobre aislante) representan un material de sustrato semiconductor de alto rendimiento que combina las excepcionales propiedades físicas del carburo de silicio (SiC) con las ventajas de aislamiento eléctrico de una capa aislante (como SiO₂ o Si₃N₄). La estructura SICOI típicamente consta de una capa monocristalina de SiC, una capa aislante y un sustrato de soporte (por ejemplo, Si o SiC). Esta configuración encuentra amplias aplicaciones en dispositivos electrónicos de alta potencia, alta frecuencia y alta temperatura, así como en los campos de RF (radiofrecuencia) y MEMS.

Wafer SICOI de 4 pulgadas, 6 pulgadas, 8 pulgadas, 4H-SiC sobre aislante, película de SiC de 100 a 150 mm SOBRE silicio



En comparación con las obleas de SiC convencionales, las obleas SICOI reducen significativamente la capacitancia parásita y la corriente de fuga mediante la incorporación de una capa aislante, mejorando así la frecuencia de operación del dispositivo y la eficiencia energética. Esta tecnología es particularmente adecuada para aplicaciones que requieren alta resistencia al voltaje, baja pérdida y un rendimiento térmico superior, como vehículos eléctricos, comunicaciones 5G y electrónica aeroespacial.

Wafer SICOI de 4 pulgadas, 6 pulgadas, 8 pulgadas, 4H-SiC sobre aislante, película de SiC de 100 a 150 mm SOBRE silicio





Características clave de las obleas SICOI



Categoría de característica

Parámetros/Rendimiento específicos

Ventajas técnicas

Estructura del material


Capa monocristalina de SiC (4H/6H-SiC) + capa aislante (SiO₂/Si₃N₄) + sustrato de soporte (Si/SiC)


Permite el aislamiento eléctrico y reduce los efectos parásitos


Rendimiento eléctrico


Alta resistencia a la ruptura (>3 MV/cm), baja pérdida dieléctrica


Ideal para dispositivos de alta frecuencia y alto voltaje


Rendimiento térmico


Alta conductividad térmica (4,9 W/cm·K), resistencia a altas temperaturas (>500 °C)


Excelente capacidad de disipación de calor, adecuada para entornos de alta temperatura


Rendimiento mecánico


Alta dureza (dureza Mohs 9,5), bajo coeficiente de expansión térmica


Resiste el estrés mecánico y mejora la fiabilidad del dispositivo


Calidad de la superficie


Superficie atómicamente plana (Ra <0,2 nm)Optimiza la calidad del crecimiento epitaxial y minimiza los defectos


Rendimiento de aislamiento


Alta resistencia de aislamiento (>10¹⁴ Ω·cm), baja corriente de fuga


Adecuado para dispositivos de RF y de potencia que requieren alto aislamiento


Tamaño y personalización


Soporta obleas de 4/6/8 pulgadas con grosor personalizable (capa de SiC: 1-100 µm, capa aislante: 0,1-10 µm)


Cumple con diversos requisitos de aplicación


Aplicaciones principales de las obleas SICOI






Campo de aplicación



Escenarios específicos

Ventajas principales

Electrónica de alta potencia

Inversores de VE, estaciones de carga rápida, módulos de potencia industriales


La alta resistencia al voltaje y la baja pérdida mejoran la eficiencia energética

Dispositivos de RF

Amplificadores de potencia (PA) de estaciones base 5G, frontales de RF de onda milimétrica


La baja capacitancia parásita permite la operación de alta frecuencia con mínima pérdida

Sensores MEMS

Sensores de presión de alta temperatura, dispositivos de navegación inercial


Resiste altas temperaturas y radiación, adecuado para entornos hostiles

Aeroespacial

Sistemas de potencia de aeronaves, equipos de comunicación por satélite


Alta fiabilidad y resistencia a temperaturas extremas

Red Eléctrica Inteligente

Transmisión de corriente continua de alto voltaje (HVDC), interruptores automáticos de estado sólido


Las altas propiedades de aislamiento reducen la pérdida de energía

Optoelectrónica

LED UV, sustratos de diodos láser


La alta coincidencia de red mejora el rendimiento del dispositivo

El proceso de preparación de 4H-SiCOI





Wafer SICOI de 4 pulgadas, 6 pulgadas, 8 pulgadas, 4H-SiC sobre aislante, película de SiC de 100 a 150 mm SOBRE silicio

El proceso de fabricación de 4H-SiCOI y los microresonadores con características destacadas.



a Proceso de fabricación de la plataforma de material 4H-SiCOI prístino.


  • b Fotografía de un sustrato 4H-SiCOI a escala de oblea de 4 pulgadas fabricado mediante el método de unión y adelgazamiento, se marca la región de falla.
  • c Variación total del grosor del sustrato 4H-SiCOI.
  • d Imagen de un dado 4H-SiCOI.
  • e Diagrama de flujo de fabricación de un microdisco resonador de SiC.
  • f Micrografía electrónica de barrido (SEM) del microdisco resonador fabricado.
  • g Imagen SEM ampliada de la pared lateral del resonador. Inserción, escaneo de microscopía de fuerza atómica (AFM) de la superficie superior del resonador (barra de escala = 1 µm).
  • h Imagen SEM de vista lateral del resonador fabricado con superficie superior con forma de parábola.
  • Obleas SICOI 




Wafer SICOI de 4 pulgadas, 6 pulgadas, 8 pulgadas, 4H-SiC sobre aislante, película de SiC de 100 a 150 mm SOBRE silicio





Preguntas y respuestas​1. P: ¿Qué es una oblea SICOI?



    R: Una oblea SICOI (carburo de silicio sobre aislante) es un sustrato semiconductor avanzado que combina las propiedades de alto rendimiento del SiC con una capa aislante para un mejor aislamiento eléctrico en dispositivos de potencia y RF.
2. P: ¿Cuáles son las ventajas de las obleas SICOI?



    R: Las obleas SICOI ofrecen menor capacitancia parásita, mayor voltaje de ruptura y mejor gestión térmica en comparación con las obleas de SiC estándar, lo que las hace ideales para aplicaciones 5G y de VE.
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consisten en algunas micras de SiC sobre unas pocas micras de SiO₂, sobre Si.