La sierra de precisión multihilo para corte de obleas de semiconductores es un sistema de corte industrial desarrollado para aplicaciones que requieren movimiento controlado del hilo, tensión estable, avance de precisión, corte de sección delgada y rigidez constante de la máquina.

El equipo integra suministro y recogida de hilo, desplazamiento del hilo, control de tensión, ruedas guía, accionamiento del rodillo principal, avance de la pieza de trabajo, circulación de lodos, intercambio de calor y control eléctrico en una única plataforma de máquina. La documentación del equipo suministrado identifica su aplicación industrial prevista como corte de obleas de semiconductores.

Con una velocidad máxima de hilo especificada de 2200 m/min, un rango de diámetro de hilo soportado de 0,014-0,10 mm, tensión ajustable de 0 a 15 N y avance de corte variable de 0,01 a 5 mm/min, el sistema proporciona una plataforma flexible para procesos de corte de obleas con hilo fino.

Esta máquina puede considerarse para líneas de producción de semiconductores, producción piloto, instalaciones de procesamiento de materiales y entornos de investigación donde la precisión de corte, la estabilidad del hilo y la repetibilidad del equipo son importantes.

Ventajas principales

Operación de hilo de alta velocidad

La máquina soporta una velocidad máxima de hilo de:

2200 m/min

La alta velocidad del hilo es especialmente importante cuando se utiliza un hilo más fino, ya que la fuerza de corte y la estabilidad del proceso deben mantenerse a medida que disminuye el diámetro del hilo.

El rango de diámetro de hilo disponible es:

0,014 mm a 0,10 mm

Esto permite a los usuarios seleccionar las especificaciones del hilo según el proceso de corte objetivo.

Tensión de hilo ajustable

La tensión del hilo se puede controlar desde:

0-15 N

El brazo de tensión se utiliza para mantener el hilo de acero a la tensión seleccionada durante la operación. Según la configuración de la máquina, el sistema de control de tensión es accionado por motor y se puede ajustar según los requisitos del proceso.

La tensión estable es una de las condiciones mecánicas clave para mantener un movimiento predecible del hilo durante el corte de obleas.

Control de avance de precisión

La máquina utiliza una unidad de avance controlada con un recorrido máximo de aproximadamente:

220 mm

Velocidad de avance de corte:

0,01-5 mm/min

Velocidad de avance rápido:

200 mm/min

La pieza de trabajo se fija a la unidad de avance y se mueve a través del área de corte según los parámetros de proceso seleccionados.

Capacidad de procesamiento

El volumen de procesamiento estándar especificado para el equipo es:

El sistema también soporta carga combinada de piezas de trabajo según la configuración técnica original.

Especificaciones técnicas

Estos parámetros se toman de la configuración del equipo suministrado.

Sistema integrado de gestión de hilo

La máquina incluye varios subsistemas coordinados responsables de controlar el movimiento del hilo.

Unidad de bobinado de hilo

La unidad de bobinado contiene la bobina de hilo nueva y la bobina receptora. Es responsable de suministrar y almacenar el hilo de acero durante el funcionamiento de la máquina.

Unidad de desplazamiento de hilo

El mecanismo de desplazamiento ayuda a que el hilo se desenrolle suavemente y se rebobine uniformemente.

Brazo de tensión

La unidad de tensión mantiene el hilo a una tensión controlada durante el corte.

Ruedas guía

Las ruedas guía se utilizan para dirigir el hilo y soportar un desplazamiento estable del hilo.

Unidad de husillo principal

La sección del husillo principal realiza la operación de corte real entre los rodillos.

Unidad de avance

La pieza de trabajo se asegura al sistema de avance y se mueve a una velocidad programada durante el corte.

Estas unidades se describen como los componentes principales del sistema general de la máquina.

Sistema de lodos y refrigeración

La máquina de corte está equipada con un sistema de circulación de lodos con una capacidad de tanque de:

300 L

El tanque de lodos proporciona refrigeración y líquido de corte durante el procesamiento.

Se utiliza un intercambiador de calor para controlar la temperatura del líquido de corte mediante refrigeración externa. Los requisitos especificados para el agua de refrigeración incluyen:

El circuito de agua de refrigeración utiliza aislamiento para reducir la condensación.

Estructura de máquina rígida

La carcasa de la máquina utiliza una estructura de acero de alta resistencia, mientras que la base utiliza una construcción fundida integrada para mejorar la rigidez general.

El equipo también está diseñado con una bandeja debajo de la máquina para reducir la posibilidad de fugas de líquido de corte directamente al suelo de instalación.

Se instala un dispositivo de seguridad neumático en la sección superior del equipo para mejorar la seguridad y estabilidad de la plataforma elevadora.

Arquitectura de accionamiento directo

El sistema de accionamiento utiliza acoplamiento directo.

Según la especificación del equipo suministrado, los principales beneficios de la estructura de accionamiento directo incluyen:

• Menor ruido operativo
• Menor consumo de piezas de desgaste
• Mayor precisión de accionamiento

Los rodillos principales también son accionados individualmente por motor. Este diseño está destinado a reducir la carga transferida del hilo a los rodillos y reducir el desgaste de la ranura del rodillo y el consumo de hilo.

Espaciado compacto de rodillos

El espaciado documentado entre ejes de rodillos es de aproximadamente:

270 mm

El espaciado más corto está diseñado para reducir la distancia entre los rodillos principales y, por lo tanto, mejorar las condiciones de corte.

Según la documentación técnica original, este diseño está destinado a mejorar el rendimiento de corte al tiempo que reduce el tiempo de procesamiento y el consumo de hilo.

Monitorización de rotura de hilo

La rotura del hilo es un riesgo de proceso importante durante el corte de obleas.

El equipo incluye detección de rotura de hilo como parte de su configuración técnica estándar.

La máquina también utiliza monitorización de alarma de rotura en doble cara para mejorar la sensibilidad de detección de rotura. Su sistema de control incorpora protección destinada a reducir la rotura del hilo durante interrupciones de energía inesperadas.

Precisión mecánica

La especificación de aceptación de la máquina incluye varios parámetros importantes de inspección mecánica:

Estos valores definen los requisitos de aceptación a nivel de máquina documentados.

Capacidad de corte de obleas delgadas

La documentación del equipo indica:

Precisión de corte: ±0,01 mm

y

Espesor mínimo de corte: <0,05 mm

El espesor exacto alcanzable en producción dependerá de la pieza de trabajo, la especificación del hilo, la receta del proceso, el fluido de corte, el método de manipulación y el rendimiento requerido.

Para proyectos de obleas muy delgadas, los clientes deben proporcionar el espesor y la tolerancia objetivo antes de finalizar la configuración del equipo.

Requisitos eléctricos y de instalaciones

Alimentación eléctrica estándar de la máquina:

CA trifásica de cuatro hilos 380 V ±10%, 50/60 Hz

La documentación técnica especifica la instalación de cable de cobre de 16 mm² o superior.

El consumo de energía de la máquina referenciado es de aproximadamente:

5 kWh

El consumo real puede variar con las condiciones de operación y los sistemas auxiliares.

Entorno de instalación recomendado

Las condiciones ambientales recomendadas incluyen:

La especificación de la máquina también confirma el soporte para una capacidad máxima de almacenamiento de hilo superior a 100 km cuando se utiliza hilo de Ø0,03 mm, seis ruedas guía, un tanque de lodos de 300 L y sujeción hidráulica de la pieza de trabajo.

Aplicación

La aplicación documentada de este equipo es:

Corte de obleas de semiconductores.

Los proyectos típicos de clientes pueden implicar diferentes diámetros de oblea, espesores objetivo y requisitos de producción.

Dado que el comportamiento de corte varía significativamente según el material, los clientes que planean procesar diferentes materiales semiconductores o duros y quebradizos deben proporcionar la información del material a ZMSH para la evaluación del proceso antes de confirmar la configuración final de la máquina.

Configuración personalizada del equipo

Los diferentes proyectos de obleas de semiconductores pueden requerir diferentes:

• Diámetro del hilo
• Tensión del hilo
• Velocidad de avance
• Dispositivo de sujeción de la pieza de trabajo
• Condiciones de refrigeración
• Configuración de lodos
• Interfaz de comunicación
• Capacidad de producción

Las configuraciones opcionales enumeradas en la documentación del equipo incluyen comunicación SECS II, equipo de refrigeración y control de temperatura de la pieza de trabajo.

Por lo tanto, ZMSH puede evaluar la configuración del equipo según los requisitos del proceso del cliente.

Información para RFQ

Para una cotización o evaluación técnica, proporcione:

1. Material
2. Dimensiones de la pieza de trabajo
3. Dimensiones de oblea requeridas
4. Espesor de oblea objetivo
5. Tolerancia de espesor
6. Cantidad por lote
7. Capacidad mensual o diaria
8. Especificación del hilo, si ya está definida
9. Precisión de corte requerida
10. Condiciones del agua de refrigeración
11. Suministro eléctrico de fábrica
12. Funciones opcionales requeridas

Proporcionar estos detalles ayuda a determinar la configuración adecuada de la máquina y el proceso.

Preguntas frecuentes

¿Cuál es la velocidad máxima del hilo de corte?

La velocidad máxima de hilo especificada es de 2200 m/min.

¿Qué diámetro de hilo puede usar la máquina?

El rango de diámetro de hilo especificado es de 0,014-0,10 mm.

¿Qué tan delgado puede cortar la máquina?

La documentación del equipo indica que son posibles espesores de corte inferiores a 0,05 mm bajo las condiciones de operación relevantes.