Substrato de zafiro de plano C de 2 pulgadas para el desarrollo de procesos y calibración de equipos

Resumen del producto

Este sustrato de zafiro de plano C de 2 pulgadas se fabrica a partir de óxido de aluminio de cristal único de alta pureza (Al2O3) utilizando técnicas avanzadas de crecimiento de cristal y corte de precisión.con una superficie pulida de un solo lado (SSP), espesor estable y control de arco bajo, este sustrato es ideal para calibración de equipos, ensayos de deposición de película delgada y I + D de semiconductores o fotónica no críticos.
Cada oblea se somete a una estricta inspección dimensional y visual, y todos los envíos incluyen la trazabilidad completa del lote.

Características clave

• Zafiro de alta pureza (Al2O3):Excelente resistencia mecánica, estabilidad térmica y resistencia química.

• Orientación del avión C (0001):Orientación estándar para GaN, recubrimientos ópticos y aplicaciones láser.

• Superficie del SSP:La parte delantera pulida garantiza una deposición uniforme; la parte posterior está recortada para un manejo estable de los accesorios.

• La inclinación baja < 10 μm:Mantiene la planitud para un procesamiento confiable.

• Grado de imitación:Eficaz en términos de costes para experimentos de procesos y ajustes de equipos.

• Control de calidad estricto:El número de lote y el número de lote proporcionan una trazabilidad completa.

Especificaciones técnicas

Aplicaciones

Este sustrato de zafiro de calidad falsa es adecuado para:

• Pruebas de deposición (ALD / PVD / CVD / MOCVD)

• Calibración del equipo y ajuste de parámetros

• Uniformidad de recubrimiento y evaluación del proceso

• Investigación y desarrollo en películas finas y experimentos de fotónica no crítica

• Formación universitaria y enseñanza en laboratorio

• Pruebas ópticas y configuraciones de demostración funcional

Embalaje y garantía de calidad

• Inspección y manipulación de salas limpias de clase 100

• 25 piezas por cassette de obleas con separadores de protección

• Envases antiestáticos sellados al vacío para evitar la contaminación

• Etiquetas de lotes y lotes incluidas para una trazabilidad completa

• Control de defectos visuales antes del envío

Preguntas frecuentes

1¿Cuál es la principal diferencia entre los sustratos de zafiro de calidad ficticia y de calidad superior?

Los sustratos de calidad ficticia tienen dimensiones mecánicas correctas, pero pueden no cumplir con los estándares ópticos, de defectos de superficie o de preparación para epi requeridos para el crecimiento de GaN o la fabricación del dispositivo.Son ideales para pruebas y calibración de procesos.

2¿Puedo usar este sustrato para el crecimiento epitaxial?

Para la verificación general del proceso, sí.
Sin embargo, paraFabricación de GaN de alta calidad o de dispositivos epitaxiales, recomendamos cambiar aZafiro DSP de primera calidad o preparado para epipara una mejor planitud, TTV y control de defectos superficiales.

3¿Ofrece orientación personalizada, espesor o pulido?

Sí, soportamos personalizado:

• espesor (200 ‰ 1500 μm)

• PSS / PDS

• C-plano, A-plano, R-plano, M-plano

• Marcado por láser, planos de orientación, chanfrado personalizado
  Póngase en contacto con nosotros con sus especificaciones.

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