Componente óptico de espejo SiC de alta pureza pulido de doble cara para microespejo MEMS

1. Ultraligero y miniaturizado:

• El diseño compacto (por ejemplo, diámetro de 20 ‰ 50 mm) combinado con la baja densidad de SiC ‰ (~ 3,1 g / cm 3) logra un peso extremadamente ligero y una estructura compacta,lo que lo hace ideal para equipos integrados sensibles al espacio y al peso.

2Estabilidad superior y resistencia al medio ambiente:

• El bajo coeficiente de expansión térmica (~4.5×10−6/°C) y un elevado módulo elástico (> 400 GPa) garantizan una excepcional estabilidad dimensional y superficial bajo fluctuaciones de temperatura y vibraciones mecánicas, con una fuerte resistencia a la deformación.

3Excelente gestión térmica:

• La alta conductividad térmica (~ 120~200 W/m·K) facilita una rápida y uniforme disipación de calor,prevención de puntos calientes locales y garantía de un rendimiento y una fiabilidad estables de los sistemas ópticos en condiciones de alta temperatura o alta potencia.

4Calidad de la superficie óptica de primer nivel:

• Mediante la tecnología de pulido de doble cara, se logra una suavidad superficial a nanoescala (Ra ≤ 0,5 nm) en ambos lados y una planitud / paralelismo ultra alto,minimizando la dispersión y pérdida de luz al tiempo que garantiza una alta calidad de imagen.

5- Durabilidad y inertitud química:

• La alta dureza (Mohs 9.5) proporciona resistencia al desgaste y a los arañazos, y la resistencia a los ácidos, los álcalis y la erosión del plasma garantiza un rendimiento a largo plazo en ambientes duros, prolongando la vida útil.

- ¿ Qué?

Sistemas ópticos de gafas AR/MR:

Como lentes de guía de ondas difractivas, prismas o reflectores para guiar y mostrar las trayectorias de la luz.y tamaño pequeño son clave para lograr el diseño de gafas delgadas, gran campo de visión (FOV), y la eliminación de patrones de arco iris.

• Equipo de litografía y inspección de precisión de semiconductores

Como reflectores o sustratos de lentes en los sistemas de iluminación de las máquinas de litografía o sensores de los equipos de inspección de obleas.Su alta estabilidad térmica y planitud son cruciales para mantener la precisión de superposición a nanoescala y la precisión de inspección..

• Sistemas ópticos láser de gama alta:

Se utilizan en galvanómetros láser, interferómetros láser o como reflectores/espejos de ventana en láseres de alta potencia.y la estabilidad garantizan una dirección precisa del haz láser y un funcionamiento estable del sistema a largo plazo..

• MEMS y campos de micro-óptica:

Como materiales de sustrato para microespejos MEMS o sustrato para dispositivos microópticos, aplicados en LiDAR, proyectores, etc., que cumplen con requisitos estrictos de respuesta de alta frecuencia,alta estabilidad, y la miniaturización.

Productos cerámicos de SiC de ZMSH

2SiC cerámica de vacío Chuck Flip-chip de unión espejo pulido alta rigidez