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Instrumento de orientación de obleas basado en XRD para determinación de ángulo de corte de alta precisión

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Instrumento de orientación de obleas basado en XRD para determinación de ángulo de corte de alta precisión

​​XRD-Based Wafer Orientation Instrument for High-Precision Cutting Angle Determination​​
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Ampliación de imagen :  Instrumento de orientación de obleas basado en XRD para determinación de ángulo de corte de alta precisión

Datos del producto:
Lugar de origen: China
Nombre de la marca: ZMSH
Certificación: rohs
Número de modelo: Instrumento de orientación de la oblea
Pago y Envío Términos:
Cantidad de orden mínima: 3
Precio: by case
Detalles de empaquetado: Paquete en la limpieza de 100 grados
Tiempo de entrega: 3 a 6 meses
Condiciones de pago: T/t
Capacidad de la fuente: 1000 piezas por mes
Descripción detallada del producto
Sistema de rayos X: Tubo de radiografía Tamaño de la muestra: Se aplicarán las siguientes medidas:
Rango angular: θ: -10° a +50°, 2θ: -10° a +110° Precisión de orientación: ±10″–±30″ (modelos de alta precisión: ±3″)
Movimiento de varios ejes: Posicionamiento del eje X/Y/Z, rotación de 360° ±15°, control de inclinación Velocidad de escaneo: Orientación completa en 10 segundos (totalmente automatizada)
aplicaciones: Fabricación de semiconductores, procesamiento de materiales ópticos
Resaltar:

Instrumento de orientación de la oblea para determinar el ángulo de corte

,

Instrumento de orientación de obleas de alta precisión

 Descripción general del equipo del instrumento de orientación de obleas​

  

Instrumento de orientación de obleas basado en XRD para determinación de ángulo de corte de alta precisión 0

 

​​Instrumento de orientación de obleas basado en XRD para la determinación de ángulos de corte de alta precisión​​

 

 

Un instrumento de orientación de obleas es un dispositivo de alta precisión basado en la tecnología de difracción de rayos X (XRD), diseñado para las industrias de semiconductores y materiales ópticos para determinar la orientación de la red cristalina y los ángulos de corte. Sus componentes principales incluyen:

 

  • ​​Sistema de generación de rayos X​​: Tubos de rayos X con objetivo de cobre o molibdeno con un tamaño de punto focal de 0,4×1 mm, voltaje del tubo de 30–50 kV y corriente del tubo de 0–5 mA.
  • ​​Goniómetro​​: Diseño de enlace de doble eje (Ω-θ) que admite una resolución angular de ±0,001° y análisis de curva de balanceo.
  • ​​Plataforma de muestra​​: Estructura de alineación en forma de V o plana, compatible con obleas de 2–12 pulgadas e lingotes grandes (≤20 kg).
  • ​​Módulo de automatización​​: Dispositivo de apilamiento para el posicionamiento simultáneo de 12 lingotes, lo que mejora la eficiencia de la producción.

 

 


 

Especificaciones técnicas completas del instrumento de orientación de obleas


 

​​Categoría de parámetro​​ ​​Parámetro​​ ​​Especificaciones/Descripción​​
​​Sistema de rayos X​​


 
Tubo de rayos X Objetivo de cobre (Cu), punto focal de 0,4×1 mm, refrigerado por aire
Voltaje/corriente de rayos X 30 kV, 0–5 mA ajustable
Tipo de detector Tubo Geiger-Müller (baja energía) o contador de centelleo (alta energía)
Constante de tiempo 0,1/0,4/3 segundos ajustables
​​Goniómetro​​



 
Tamaño de la muestra Oblea: 2–12 pulgadas; Lingote: ≤200 mm (diámetro) × 500 mm (longitud)
Rango angular θ: -10° a +50°, 2θ: -10° a +110°
Precisión de la orientación ±10″–±30″ (modelos de alta precisión: ±3″)
Resolución angular Lectura mínima: 1″ (digital) o 10″ (escala)
Velocidad de escaneo Orientación completa en 10 segundos (totalmente automatizado)
​​Automatización y control​​

 
Plataforma de muestra Ranura en V (obleas de 2–8 pulgadas), alineación de bordes/OF, capacidad de 1–50 kg
Movimiento multieje Posicionamiento en los ejes X/Y/Z, rotación de 360° ±15°, control de inclinación
Interfaz PLC/RS232/Ethernet, compatible con MES
​​Especificaciones físicas​​


 
Dimensiones 1130×650×1200 mm (L×A×H)
Peso 150–300 kg
Requisitos de energía Monofásico 220V±10%, 50/60 Hz, ≤0,5 kW
Nivel de ruido <65 dB (en funcionamiento)
​​Características avanzadas​​

 
Control de tensión de circuito cerrado Monitoreo en tiempo real, regulación de tensión de 0,1–1,0 MPa
Optimización impulsada por IA Detección de defectos, alertas de mantenimiento predictivo
Compatibilidad con múltiples materiales Admite cristales cúbicos (Si), hexagonales (zafiro) y asimétricos (YAG)

 

 


 

Instrumento de orientación de obleasPrincipio de funcionamiento

 

Instrumento de orientación de obleas basado en XRD para determinación de ángulo de corte de alta precisión 1

El dispositivo funciona a través de la difracción de rayos X y las tecnologías de escaneo Omega:

 

 

​​1. Difracción de rayos X​​:

  • Los rayos X incidentes en la superficie del cristal en ángulos de Bragg generan señales de difracción, lo que permite el cálculo del espaciado de la red y la orientación.
  • El escaneo de la curva de balanceo evalúa los defectos de la red y la tensión superficial.

​​

 

2. Escaneo Omega​​:

  • El cristal gira alrededor de un eje fijo mientras que el tubo de rayos X y el detector permanecen estacionarios, recopilando dinámicamente datos de difracción multiángulo para un mapeo completo de la red en 5 segundos.
  • El movimiento integrado en los ejes X/Y/Z permite la orientación cristalográfica 3D.

​​

Instrumento de orientación de obleas basado en XRD para determinación de ángulo de corte de alta precisión 2

3. Control automatizado​​:

  • Rotación de la muestra controlada por PLC o computadora y adquisición de datos, compatible con parámetros de corte preestablecidos (por ejemplo, cortes de 8° o 32° para obleas de silicio).

 

 

 

 


 

Instrumento de orientación de obleas Características y ventajas clave​

 

 

​​Característica​​

 

​​Descripción​​

 

​​Parámetros técnicos/Estudios de caso​​

 

​​Ultra alta precisión​​

 

Precisión de escaneo Omega ±0,001°, resolución FWHM de la curva de balanceo <0,005°

 

Error de corte de la oblea de carburo de silicio ≤±0,5°

 

​​Medición de alta velocidad

​​

Adquisición de un solo escaneo de todos los datos cristalográficos, 200× más rápido que el manual

 

Pruebas por lotes de obleas de silicio: 120 obleas/hora

 

​​Compatibilidad con múltiples materiales

​​

Admite cristales cúbicos (Si), hexagonales (zafiro) y asimétricos (YAG)

 

Materiales aplicables: SiC, GaN, cuarzo, granate

 

​​Integración de IA​​

 

Algoritmos de aprendizaje profundo para la detección de defectos, optimización del proceso en tiempo real

 

La clasificación de defectos reduce la tasa de rechazo a <1%

 

​​Diseño modular​​

 

Plataforma X-Y expandible para mapeo 3D o integración EBSD

 

Detección de densidad de dislocación de obleas de silicio ≤100 cm⁻²

 

 

 


 

 

Instrumento de orientación de obleasCampos de aplicación​

 

Instrumento de orientación de obleas basado en XRD para determinación de ángulo de corte de alta precisión 3

1. Fabricación de semiconductores​​:

  • ​​Corte de obleas de silicio​​: Determina <100> y <111> orientaciones, minimizando la pérdida de corte (<5%).
  • ​​Obleas de carburo de silicio (SiC)​​: El proceso de corte de 8° mejora el voltaje de ruptura del dispositivo, la tasa de pérdida <10%.

 

2. ​​Procesamiento de materiales ópticos​​:

  • ​​Sustratos de zafiro​​: Corta chips LED con una precisión de ±0,1° para reducir la pérdida de eficiencia lumínica.
  • ​​Cristales láser YAG​​: Corte preciso de las superficies del resonador láser para una calidad de haz superior.

 

3. ​​Aleaciones y cerámicas de alta temperatura​​:

  • ​​Álabes de turbina​​: El control de la orientación de la aleación a base de níquel mejora la resistencia a altas temperaturas (>1200°C).
  • ​​Cerámicas de circonio​​: Corta las placas traseras de los teléfonos inteligentes con una uniformidad de espesor de ±0,02 mm.

 

4. ​​Investigación y control de calidad​​:

  • ​​Análisis de defectos de cristal​​: Mapea la densidad de dislocación a través de curvas de balanceo (<10³ cm⁻²).
  • ​​I+D de nuevos materiales​​: Evalúa la orientación de la red de células solares de perovskita para la eficiencia fotovoltaica.

 

 


 

Instrumento de orientación de obleasPreguntas frecuentes

 

 

1. P: ¿Cómo calibrar un instrumento de orientación de obleas?​​

​​    R:​​ La calibración implica alinear la fuente y el detector de rayos X utilizando cristales de referencia, lo que normalmente requiere una precisión angular de ​​<0,001°​​ y ajustes de software automatizados para mayor precisión.

 

 

​​2. P: ¿Cuál es la precisión típica de un instrumento de orientación de obleas?​​

​​    R:​​ Los modelos de gama alta logran una precisión de ​​±0,001°​​, fundamental para el corte de obleas de semiconductores y el análisis de defectos de cristal en industrias como la fotovoltaica y la cerámica avanzada.

 

 

 

Etiquetas: #Instrumento de orientación de obleas, #Basado en XRD, #Zafiro, #SiC, #Corte de alta precisión, #Determinación de ángulo​​

 
 

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