Datos del producto:
Pago y Envío Términos:
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Sistema de rayos X: | Tubo de radiografía | Tamaño de la muestra: | Se aplicarán las siguientes medidas: |
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Rango angular: | θ: -10° a +50°, 2θ: -10° a +110° | Precisión de orientación: | ±10″–±30″ (modelos de alta precisión: ±3″) |
Movimiento de varios ejes: | Posicionamiento del eje X/Y/Z, rotación de 360° ±15°, control de inclinación | Velocidad de escaneo: | Orientación completa en 10 segundos (totalmente automatizada) |
aplicaciones: | Fabricación de semiconductores, procesamiento de materiales ópticos | ||
Resaltar: | Instrumento de orientación de la oblea para determinar el ángulo de corte,Instrumento de orientación de obleas de alta precisión |
Instrumento de orientación de obleas basado en XRD para la determinación de ángulos de corte de alta precisión
Un instrumento de orientación de obleas es un dispositivo de alta precisión basado en la tecnología de difracción de rayos X (XRD), diseñado para las industrias de semiconductores y materiales ópticos para determinar la orientación de la red cristalina y los ángulos de corte. Sus componentes principales incluyen:
Categoría de parámetro | Parámetro | Especificaciones/Descripción |
Sistema de rayos X |
Tubo de rayos X | Objetivo de cobre (Cu), punto focal de 0,4×1 mm, refrigerado por aire |
Voltaje/corriente de rayos X | 30 kV, 0–5 mA ajustable | |
Tipo de detector | Tubo Geiger-Müller (baja energía) o contador de centelleo (alta energía) | |
Constante de tiempo | 0,1/0,4/3 segundos ajustables | |
Goniómetro |
Tamaño de la muestra | Oblea: 2–12 pulgadas; Lingote: ≤200 mm (diámetro) × 500 mm (longitud) |
Rango angular | θ: -10° a +50°, 2θ: -10° a +110° | |
Precisión de la orientación | ±10″–±30″ (modelos de alta precisión: ±3″) | |
Resolución angular | Lectura mínima: 1″ (digital) o 10″ (escala) | |
Velocidad de escaneo | Orientación completa en 10 segundos (totalmente automatizado) | |
Automatización y control |
Plataforma de muestra | Ranura en V (obleas de 2–8 pulgadas), alineación de bordes/OF, capacidad de 1–50 kg |
Movimiento multieje | Posicionamiento en los ejes X/Y/Z, rotación de 360° ±15°, control de inclinación | |
Interfaz | PLC/RS232/Ethernet, compatible con MES | |
Especificaciones físicas |
Dimensiones | 1130×650×1200 mm (L×A×H) |
Peso | 150–300 kg | |
Requisitos de energía | Monofásico 220V±10%, 50/60 Hz, ≤0,5 kW | |
Nivel de ruido | <65 dB (en funcionamiento) | |
Características avanzadas |
Control de tensión de circuito cerrado | Monitoreo en tiempo real, regulación de tensión de 0,1–1,0 MPa |
Optimización impulsada por IA | Detección de defectos, alertas de mantenimiento predictivo | |
Compatibilidad con múltiples materiales | Admite cristales cúbicos (Si), hexagonales (zafiro) y asimétricos (YAG) |
El dispositivo funciona a través de la difracción de rayos X y las tecnologías de escaneo Omega:
1. Difracción de rayos X:
2. Escaneo Omega:
3. Control automatizado:
Característica
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Descripción
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Parámetros técnicos/Estudios de caso
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Ultra alta precisión
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Precisión de escaneo Omega ±0,001°, resolución FWHM de la curva de balanceo <0,005°
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Error de corte de la oblea de carburo de silicio ≤±0,5°
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Medición de alta velocidad |
Adquisición de un solo escaneo de todos los datos cristalográficos, 200× más rápido que el manual
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Pruebas por lotes de obleas de silicio: 120 obleas/hora
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Compatibilidad con múltiples materiales |
Admite cristales cúbicos (Si), hexagonales (zafiro) y asimétricos (YAG)
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Materiales aplicables: SiC, GaN, cuarzo, granate
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Integración de IA
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Algoritmos de aprendizaje profundo para la detección de defectos, optimización del proceso en tiempo real
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La clasificación de defectos reduce la tasa de rechazo a <1%
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Diseño modular
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Plataforma X-Y expandible para mapeo 3D o integración EBSD
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Detección de densidad de dislocación de obleas de silicio ≤100 cm⁻²
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1. Fabricación de semiconductores:
2. Procesamiento de materiales ópticos:
3. Aleaciones y cerámicas de alta temperatura:
4. Investigación y control de calidad:
1. P: ¿Cómo calibrar un instrumento de orientación de obleas?
R: La calibración implica alinear la fuente y el detector de rayos X utilizando cristales de referencia, lo que normalmente requiere una precisión angular de <0,001° y ajustes de software automatizados para mayor precisión.
2. P: ¿Cuál es la precisión típica de un instrumento de orientación de obleas?
R: Los modelos de gama alta logran una precisión de ±0,001°, fundamental para el corte de obleas de semiconductores y el análisis de defectos de cristal en industrias como la fotovoltaica y la cerámica avanzada.
Etiquetas: #Instrumento de orientación de obleas, #Basado en XRD, #Zafiro, #SiC, #Corte de alta precisión, #Determinación de ángulo
Persona de Contacto: Mr. Wang
Teléfono: +8615801942596