Con una capacidad de carga de más de 100 kg/m2 y una capacidad de carga de más de 500 kg/m2

Pod horizontal de obleas con transporte de obleas de PP de 4"/5"/6"/8"/12" con cojín de espuma

ElCapsula de obleas horizontalla serie representa un avance significativo en el transporte seguro y protegido de obleas de semiconductores,diseñados específicamente para satisfacer los rigurosos requisitos de los entornos de investigación y desarrollo y de producción en pequeños lotesEstas cápsulas están meticulosamente diseñadas para acomodar tamaños de obleas de 4 pulgadas a 12 pulgadas,Polipropileno de grado médico (PP)Combinado con unsistema de cojín de espuma de múltiples capas diseñado a medidapara una protección máxima.

Este enfoque de protección de tres capas garantiza una seguridad sin precedentes, salvaguardando las obleas contra:

✔Las descargas mecánicas: capacidad de absorción de hasta50 glos impactos, protegiendo las estructuras delicadas durante la manipulación y el transporte.

✔Contaminación por partículas: Mantiene un nivel de limpieza superior en su clase con< 5 adders @ 0,3 μm, reduciendo significativamente el riesgo de contaminación en procesos críticos.

✔Descarga electrostática (ESD): Proporciona una disipación estática confiable con unresistividad superficial de 106109Ω, que cumplen plenamente con las normas de control ESD.

Ideal para transferencias de sala limpia a sala limpia y almacenamiento de obleas a largo plazo, estas cápsulas de obleas proporcionanConformidad con la SEMI E1.9Diseñado para uso repetido, cada capsula ha sido probada para mantener un rendimiento constante duranteMás de 500 ciclos de funcionamientosin ninguna degradación, lo que resulta en una rentabilidad excepcional a largo plazo.

El innovadorsistema de inserción de espuma codificado por colorsimplifica la identificación del tamaño de la oblea y minimiza la posibilidad de carga errónea, apoyando la eficiencia y precisión operacionales en entornos de laboratorio y fabricación de ritmo rápido.

Principales características e innovaciones

Estructura de protección avanzada

• Los cojines de espuma de PE moldeados en 3D ofrecen un soporte personalizado para cada oblea, acunándolos con una distribución de presión uniforme.

• - ¿ Qué?Sistema de amortiguación de choques de varias etapas:

• Conchas exteriores: 3 mm de espesor, carcasa de PP resistente a la aplastamiento absorbe el impacto inicial.

• Capas medias: Las capas de espuma de densidad de gradiente distribuyen progresivamente las fuerzas de choque, reduciendo la transmisión a la oblea.

• Revestimiento interno: La capa antistatica de lana previene los micro arañazos y añade una barrera adicional contra la generación de partículas.

Gestión inteligente de las obleas

• Los marcadores de capacidad grabados con láser en cada cápsula aseguran una gestión clara del inventario y el seguimiento de la capacidad.

• - ¿ Qué?El diseño apilable con pines de alineación de precisión evita el movimiento lateral, lo que permite un almacenamiento seguro y eficiente en el espacio.

Diseño optimizado para salas limpias

• La construcción de una sola pieza sin costuras elimina las juntas y los huecos, reduciendo las posibles trampas de partículas y simplificando los protocolos de limpieza.

Opciones de configuración personalizadas

• Variantes de tamaño de obleas: de 4" a 12" (incluidos los formatos de 150mm, 200mm y 300mm).

• Tipos de espuma: Conductiva, ignífugo o de baja emisión de gases, adaptada a las necesidades específicas del proceso y de la normativa.

• Las versiones especiales: las opciones incluyen modelos compatibles con el vacío para entornos de alto vacío y versiones de alta humedad para condiciones de almacenamiento difíciles.

Especificaciones técnicas

Aplicaciones

Investigación y desarrollo

• Laboratorios universitarios y corporativos: transferencias seguras entre módulos de salas limpias.

• Desarrollo de procesos: almacenaje fiable de obleas para prototipos y procesos piloto.

• Caracterización del material: Protección de las muestras sensibles a las vibraciones durante el transporte.

El SProducción por lotes

• Fabricación de MEMS: manejo seguro de estructuras frágiles de MEMS.

• Optoelectrónica: Protección de las obleas de GaAs y GaN en aplicaciones optoelectrónicas.

• Investigación y desarrollo de células solares: transferencia segura de grandes sustratos de obleas de 12 pulgadas para dispositivos solares experimentales.

Mantenimiento y calibración del equipo

• Calificación de la herramienta: almacenaje robusto de las obleas doradas y de referencia.

• Metrología: protección de las obleas de calibración durante el transporte.

• Entornos controlados: transporte de dispositivos sensibles a la humedad o higroscópicos.

Logística de la cadena de suministro

• Transferencias de fábrica a fábrica: Certificado para el manejo resistente (conformidad con MIL-STD-810G).

• Envíos internacionales: la certificación de mercancías peligrosas de la IATA garantiza un transporte mundial seguro.

• Archivo a largo plazo: Estabilidad del material comprobada de 10 años para los lotes de obleas archivados.

Pregunta y respuesta

P1: ¿Qué hace que su sistema de cojines de espuma sea superior a la espuma de polietileno estándar?
A1: ¿Qué es esto?Nuestro sistema patentado de espuma de tres capas ofrece:

• Capa superior: tamaño de poro ultrafino de 0,2 mm, que ofrece99Filtración de partículas del 0,9%para la seguridad de las salas limpias.

• Capa media: espuma de memoria viscoelástica conTasa de rebote del 30%, proporcionando tanto la absorción de golpes como la recuperación de forma para un uso prolongado.

• Capa de base: espuma de carbono conductor conResistencia de la superficie < 100 Ω/m2para garantizar una rápida disipación electrostática.

P2: ¿Cómo se garantiza la protección ESD durante las transferencias de obleas?
A2: ¿Qué es esto?Nuestras cápsulas se integran:

• Resistencia superficial de 106 ̊109Ω, de acuerdo con las directrices ANSI/ESD S20.20.

• Trayectoria de puesta a tierra continuaa través de contactos de mango integrados para la neutralización de la carga en tiempo real.

• Sensores ESD de IoT opcionalespara el seguimiento en tiempo real y la gestión del riesgo de DSE basada en datos.