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El material: | 99.999% Cristal de zafiro | Orientación: | Desde el eje C hasta el plano A 2° |
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Diámetro: | 2 pulgadas y 50,8 mm. | - ¿ Por qué?: | ≤ 20 μm |
Tamaño: | 2 pulgadas, 4 pulgadas, 6 pulgadas, 8 pulgadas | TTV: | <5> |
El grosor: | 430 μm | ||
Resaltar: | Wafer de zafiro de plano C,Al2O3 Wafer de zafiro,Wafer de zafiro ultra delgado |
Wafer de zafiro de 2" Fuera del eje C hacia el plano A2°,Al₂O₃,430µm de espesor, DSP/SSP
Este wafer de zafiro de 2 pulgadas presenta una Desviación del eje C al plano A 2° y 99,999% (5N) de pureza, optimizado para el crecimiento epitaxial de alto rendimiento y aplicaciones optoelectrónicas especializadas. Con un espesor de 430µm y opciones para pulido de doble cara (DSP) o pulido de una sola cara (SSP), el wafer ofrece una calidad de superficie excepcional (Ra <0,3 nm) y consistencia cristalográfica, lo que lo hace ideal para dispositivos basados en GaN, sistemas láser y sustratos de grado de investigación. Su orientación fuera de eje controlada reduce los defectos de agrupamiento de escalones durante la epitaxia, mientras que la pureza ultra alta garantiza una degradación mínima del rendimiento impulsada por impurezas en aplicaciones sensibles como la óptica cuántica y los filtros de RF.
Características clave del wafer de zafiro de 2''
Orientación de corte de precisión:
Fuera del plano C hacia el eje A 2° , diseñado para mejorar la uniformidad de la capa epitaxial y reducir los defectos en el crecimiento de GaN.
Pureza ultra alta:
99,999% (5N) Al₂O₃, con impurezas traza (Fe, Ti, Si) <5 ppm, crítico para dispositivos de alta frecuencia y baja pérdida.
Calidad de superficie submicrónica:
Opciones DSP/SSP:
DSP: Ra <0,3 nm (ambas caras), ideal para aplicaciones ópticas y láser.
SSP: Ra <0,5 nm (cara frontal), rentable para epitaxia.
TTV <5µm para una deposición uniforme de película delgada.
Excelencia del material:
Estabilidad térmica: Punto de fusión ~2.050°C, adecuado para procesos MOCVD/MBE.
Transparencia óptica: >90% de transmisión (400 nm–4.000 nm).
Robustez mecánica: Dureza 9 Mohs, resistente al grabado químico.
Consistencia de grado de investigación:
Densidad de dislocación <300 cm⁻², lo que garantiza un alto rendimiento para I+D y producción piloto.
Aplicaciones
Epitaxia de GaN:
LED/Diodos láser: Emisores azules/UV con reducción de dislocaciones de rosca.
HEMT: Transistores de alta movilidad de electrones para 5G y radar.
Componentes ópticos:
Ventanas láser: Baja pérdida de dispersión para láseres de CO₂ y UV.
Guías de onda: Wafers DSP para fotónica integrada.
Dispositivos de ondas acústicas:
Filtros SAW/BAW: La orientación fuera de corte mejora la estabilidad de la frecuencia.
Tecnologías cuánticas:
Fuentes de fotones individuales: Sustratos de alta pureza para cristales SPDC.
Sensores industriales:
Sensores de presión/temperatura: Cubiertas químicamente inertes para entornos hostiles.
Especificaciones
Parámetro |
Valor |
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Diámetro | 50,8 mm (2") ±0,1 mm |
Espesor | 430µm ±10µm |
Orientación | fuera del eje C hacia el plano A 2° |
Pureza | 99,999% (5N Al₂O₃) |
TTV | <5µm |
Alabeo/Deformación | <20µm |
Preguntas y respuestas
P1: ¿Por qué elegir un corte de 2° en lugar del plano C estándar?
A1: El corte de 2° suprime el agrupamiento de escalones durante la epitaxia de GaN, mejorando la uniformidad de la capa y reduciendo los defectos en los LED y diodos láser de alto brillo.
P2: ¿Cómo afecta la pureza 5N al rendimiento del dispositivo de RF?
A2: La pureza del 99,999% minimiza las pérdidas dieléctricas a altas frecuencias, lo cual es fundamental para los filtros 5G y los amplificadores de bajo ruido.
P3: ¿Se pueden usar los wafers DSP para la unión directa?
A3: Sí. La rugosidad <0,3 nm de DSP permite la unión a nivel atómico para la integración heterogénea (por ejemplo, zafiro sobre silicio).
P4: ¿Cuál es la ventaja del espesor de 430µm?
A4: Equilibra la resistencia mecánica (para la manipulación) con la conductividad térmica, óptima para el procesamiento térmico rápido.
Persona de Contacto: Mr. Wang
Teléfono: +8615801942596