Nombre De La Marca: | zmkj |
Número De Modelo: | pureza elevada 4h-semi sin impurificar |
MOQ: | 3PCS |
Precio: | by required |
Tiempo De Entrega: | 10-20days |
2" 3" 4" 6" primeros de 4h-Semi 4 H-N Insulating Sic del substrato de silicio del carburo oblea sic
Carborundo sic cristalino de la oblea del substrato del carburo de silicio
PROPIEDADES MATERIALES DEL CARBURO DE SILICIO
Nombre de producto: | Substrato cristalino del carburo de silicio (sic) | ||||||||||||||||||||||||
Descripción de producto: | 2-6inch | ||||||||||||||||||||||||
Parámetros técnicos: |
|
||||||||||||||||||||||||
Especificaciones: | 6H N-tipo N-tipo dia2 semiaislante “x0.33mm, dia2” x0.43mm, dia2 ' x1mmt, tiro de 10x10m m, de 10x5m m solo o tiro doble, Ra de 4H <10a> | ||||||||||||||||||||||||
Empaquetado estándar: | bolso limpio 1000 sitio limpio, 100 o solo empaquetado de la caja |
2. los substratos clasifican de estándar
especificación del substrato del carburo de silicio de 4 pulgadas de diámetro (sic) |
|||||||||
Grado | Grado cero de MPD | Grado de la producción | Grado de la investigación | Grado simulado | |||||
Diámetro | 76,2 mm±0.3 milímetro o 100±0.5m m; | ||||||||
Grueso | 500±25um | ||||||||
Orientación de la oblea | 0° (0001) del eje | ||||||||
Densidad de Micropipe | cm2s ≤1 | cm2s ≤5 | cm2s ≤15 | cm2s ≤50 | |||||
Resistencia | 4H-N | 0.015~0.028 Ω•cm | |||||||
6H-N | 0.02~0.1 Ω•cm | ||||||||
4/6H-SI | ≥1E7 Ω·cm | ||||||||
Plano primario y longitud | {10-10} ±5.0°, 32,5 mm±2.0 milímetro | ||||||||
Longitud plana secundaria | 18.0mm±2.0 milímetro | ||||||||
Orientación plana secundaria | Silicio cara arriba: El 90° CW. de ±5.0° plano primero | ||||||||
Exclusión del borde | 3 milímetros | ||||||||
TTV/Bow /Warp | ≤15μm/≤25μm/≤40μm | ||||||||
Aspereza | Ra≤1 polaco nanómetro, CMP Ra≤0.5 nanómetro | ||||||||
Grietas por la luz de intensidad alta | Ninguno | 1 permitida, ≤2 milímetro | ≤ acumulativo 10m m, solo length≤2mm de la longitud | ||||||
Placas del hex. por la luz de intensidad alta | Área acumulativa el ≤1% | Área acumulativa el ≤1% | Área acumulativa el ≤3% | ||||||
Áreas de Polytype por la luz de intensidad alta | Ninguno | Área acumulativa el ≤2% | Área acumulativa el ≤5% | ||||||
Sic la oblea y los lingotes 2-6inch y el otro tamaño modificado para requisitos particulares también puede ser proporcionado.
exhibición del detalle 3.Products
Entrega y paquete