| Nombre De La Marca: | ZMSH |
| MOQ: | 10 |
| Tiempo De Entrega: | 2-4 semanas |
| Condiciones De Pago: | T/T |
Efector final cerámico SiC para el manejo de obleas - Resistente a la corrosión y al calor para el procesamiento de semiconductores
Resumen del producto:
El nuestroEfector final cerámico de alta pureza de SiCestá diseñado para un manejo preciso y fiable de las obleas en los procesos de fabricación de semiconductores.Este efector final está diseñado para soportar las condiciones extremas que se encuentran comúnmente en el procesamiento de semiconductoresCon su excepcional resistencia térmica y química, el efector final de SiC garantiza un rendimiento superior, seguridad,y la longevidad en el manejo de delicadas obleas de semiconductores.
Este efector final es esencial para varias operaciones críticas, incluyendo el transporte de obleas, el grabado, la deposición y las pruebas.y baja generación de partículas, que son cruciales para mantener la integridad de los dispositivos semiconductores durante la producción.
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El material:Carburo de silicio de alta pureza (SiC) ≥99% de pureza
Resistencia térmica:Resiste temperaturas de hasta1600 °C(2900°F)
Resistencia química:Excelente resistencia a ácidos, bases y entornos plasmáticos
Resistencia mecánica:Resistencia a la flexión > 400 MPa, proporcionando una alta rigidez y durabilidad
Generación de partículas bajas:Asegura la compatibilidad de las salas limpias, reduciendo el riesgo de contaminación
Tamaños personalizables:Disponible para manejo de obleas de 4 ", 6", 8", 12 ", con opciones para diseños personalizados y ranuras para compatibilidad con el brazo robótico
El acabado de la superficie:Disponible en acabado pulido o mate según los requisitos del usuario
Grado de la sala limpia:Adecuado para su uso en salas limpias de la clase 1·100, garantizando una limpieza óptima en entornos de procesamiento de semiconductores
Manejo de las obleas: Manipulación segura y precisa de las obleas semiconductoras durante las diversas etapas de fabricación
Procesamiento de semiconductores: Ideal para ambientes de alta temperatura y intensivo en productos químicos, como el grabado, la deposición y los ensayos
Compatibilidad del brazo robótico: Diseñado para una fácil integración con brazos robóticos utilizados en el transporte y manipulación de obleas
Pruebas de paquetes y clasificación de chips: Proporciona un rendimiento fiable en los procesos de clasificación y ensayo de las obleas
| Parámetro | Especificación |
|---|---|
| El material | SiC de alta pureza (≥99%) |
| Tamaño | Personalizable (para obleas de 4 ′′ 12") |
| Finalización de la superficie | acabado pulido o mate según sea necesario |
| Resistencia térmica | Hasta 1600 °C |
| Resistencia química | Resistente a ácidos, bases y plasma |
| Fuerza mecánica | Resistencia a la flexión > 400 MPa |
| Densidad | D = 3,21 g/cm3 |
| Resistencia | 0.1 ¢ 60 ohm·cm |
| Grado de la sala limpia | Apto para la clase 1 ¢100 |
El efecto final de la cerámica SiC está hecho dede alta pureza de carburo de silicio (SiC), con una pureza de≥99%Este material proporciona una excelente resistencia térmica, resistencia mecánica y estabilidad química, lo que lo hace ideal para ambientes de procesamiento de semiconductores duros.
El SiC Ceramic End Effector es ideal paraManejo de obleas,Procesamiento de semiconductores(grabación, deposición, ensayo), yIntegración del brazo robóticoTambién se utiliza enPruebas de paquetesySortado de chips.
Sí, el efecto final cerámico de SiC es adecuado para su uso enSalas limpias de la clase 1, garantizando su compatibilidad con entornos de fabricación de semiconductores ultralimpios.
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