​​Sustrato de cuarzo de oblea JGS2 de 6 pulgadas DSP 1 mmt Sílice fundida para ventana de alto rendimiento

Pantalla del producto de oblea DSP JGS2 de 6 pulgadas y 1 mm de espesor

Descripción general de la oblea de cuarzo JGS2 de 6 pulgadas​

El sustrato de oblea DSP (pulido de doble cara) JGS2 de 6 pulgadas con un espesor de 1 mm es un material base de alta precisión fabricado con sílice fundida de grado UV (JGS2)​​. Su valor fundamental reside en la excepcional transmitancia óptica de JGS2 en un amplio rango espectral de 220 nm a 2500 nm​​ (especialmente adecuado para longitudes de onda de UV a infrarrojo cercano). Además, debido a su coeficiente de expansión térmica extremadamente bajo (aproximadamente 5,8×10⁻⁷/K)​​ y su alta dureza Mohs (aproximadamente grado 7)​​, mantiene una estabilidad dimensional y una resistencia física sobresalientes en condiciones adversas como altas temperaturas y entornos corrosivos. Este sustrato se somete a un pulido de doble cara, logrando una rugosidad superficial a nanoescala. Se utiliza principalmente en campos de alta gama, incluyendo ​​fotolitografía de semiconductores, sustratos de filtros ópticos de alto rendimiento, dispositivos de comunicación fotónica (por ejemplo, chips de filtro DWDM) y sensores MEMS​​, proporcionando una base material confiable para sistemas ópticos de precisión. 

Parámetros clave​ del sustrato de cuarzo JGS2 de 6 pulgadas

Características del material: Sílice fundida JGS2​​

JGS2 es un vidrio de cuarzo óptico UV​​ producido mediante fusión con llama de hidrógeno-oxígeno. Sus características principales incluyen: 

• Excelente rendimiento óptico​​: JGS2 exhibe una alta transmitancia en un amplio rango espectral de 220 nm a 2500 nm​​, lo que significa que permite que la luz ultravioleta a infrarrojo cercano pase de manera efectiva. Esto lo convierte en un material ideal para la fabricación de ventanas ópticas, sustratos de lentes y otros componentes.
• ​​Estabilidad térmica sobresaliente​​: Su coeficiente de expansión térmica extremadamente bajo​​ le permite soportar cambios drásticos de temperatura sin agrietarse ni deformarse, lo que garantiza la estabilidad dimensional en entornos de proceso de alta temperatura.
• Buena resistencia mecánica e inercia química​​: La alta dureza y el módulo de Young proporcionan suficiente resistencia mecánica, mientras que su resistencia a diversos productos químicos (excepto el ácido fluorhídrico y el ácido fosfórico caliente) satisface las demandas de entornos industriales estrictos.

Escenarios de aplicación principales de la oblea JGS2 de 6 pulgadas

1. Basado en las propiedades anteriores, este producto se aplica principalmente en: 
2. ​​Procesos de semiconductores​​: Se utiliza como sustrato de placa de máscara o oblea portadora en procesos como la fotolitografía y el grabado, donde su alta pureza y estabilidad térmica son cruciales.
3. ​​Fabricación de componentes ópticos​​: Sirve como material base para ventanas, prismas y filtros de alto rendimiento, especialmente adecuado para sistemas ópticos que requieren transmisión UV.
   ​​Dispositivos de comunicación fotónica​​: Se utiliza en la fabricación de sustratos de filtro para sistemas de multiplexación por división de longitud de onda densa (DWDM), donde la homogeneidad óptica y la baja pérdida son clave.

Preguntas y respuestas de la oblea JGS2 de 6 pulgadas

P1: ¿Cuáles son las principales ventajas de usar un sustrato de oblea DSP JGS2 de 6 pulgadas con un espesor de 1 mm para aplicaciones ópticas UV?​​
​​R1:​​ Su principal ventaja radica en la excepcional transmitancia UV (hasta 220 nm) y el coeficiente de expansión térmica extremadamente bajo (~5,5×10⁻⁷/°C), lo que garantiza una distorsión térmica mínima bajo exposición UV de alta potencia y un rendimiento estable en entornos exigentes como la litografía de semiconductores o sistemas láser.

​​P2: ¿Cómo contribuye el espesor de 1 mm al rendimiento del sustrato en sistemas de alta precisión?​​
​​R2:​​ El espesor de 1 mm proporciona un equilibrio óptimo entre la resistencia mecánica (resistiendo el estrés de manipulación) y la planitud óptica, lo cual es fundamental para mantener la coherencia del haz y reducir la distorsión del frente de onda en óptica de precisión y herramientas de fotolitografía.

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