1 pulgadas de Wafer Cassette 16 mm de diámetro 25 piezas de capacidad

El cassette para wafer de 1 pulgada es un contenedor especializado diseñado para la manipulación, transporte y almacenamiento seguros de obleas semiconductoras de pequeño diámetro (1 pulgada). Su función principal es proporcionar protección física, aislamiento ambiental y compatibilidad con sistemas automatizados, garantizando la integridad de la oblea y la eficiencia del proceso en todos los flujos de trabajo de fabricación de semiconductores.

 Características Clave del Cassette para Wafer de 1 Pulgada

1. Protección Física Mejorada

• Mitigación de Descarga Electroestática (ESD): El cassette para wafer de 1 pulgada utiliza materiales seguros contra ESD (por ejemplo, recubrimientos conductores, fluoropolímeros) para proteger las obleas de daños electrostáticos.
• Absorción de Impactos: Las almohadillas de silicona o las inserciones de goma dentro de las ranuras amortiguan las vibraciones y absorben los impactos, lo cual es fundamental para las frágiles obleas de 1 pulgada.

2. Control Ambiental

• Construcción Sellada: El cassette para wafer de 1 pulgada evita la contaminación por polvo, humedad y vapores químicos. Ciertas variantes admiten entornos de vacío o gas inerte (por ejemplo, purga de nitrógeno) para procesos sensibles como la litografía o el grabado.
• Resistencia a la Temperatura: El cassette para wafer de 1 pulgada funciona de manera confiable en un amplio rango de temperaturas (-20°C a 150°C), lo que se adapta a los requisitos de recocido a alta temperatura o almacenamiento a baja temperatura.

3. Características Preparadas para la Automatización

• Interfaces Estandarizadas: Las ranuras de agarre mecánico montadas en la parte superior o los pasadores de alineación permiten el acoplamiento preciso con brazos robóticos y sistemas EFEM.
• Bloqueos de Posicionamiento: Los cierres magnéticos o mecánicos garantizan que las obleas permanezcan alineadas de forma segura durante las transferencias automatizadas, evitando fallas en los equipos inducidas por la desalineación.

4. Rentabilidad

• Diseño ligero optimizado para obleas de 1 pulgada que reduce los costos de material manteniendo la durabilidad, ideal para I+D y producción de lotes pequeños.

Aplicaciones Principales del Cassette para Wafer de 1 Pulgada

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