Porta-cassette de obleas de 2 pulgadas 30*30 mm 25 ranuras Clase 100 de sala limpia
El porta-cassette de obleas de 2 pulgadas es un dispositivo de transporte de precisión diseñado específicamente para las industrias de semiconductores, optoelectrónica y fabricación de micro/nano. Se utiliza principalmente para sujetar, almacenar y transportar de forma segura obleas de 2 pulgadas o materiales de película delgada. Fabricado con materiales de alta pureza, garantiza un funcionamiento libre de contaminación y daños mecánicos durante los procesos de fabricación, inspección o experimentación. Su diseño estandarizado garantiza la compatibilidad con varios equipos de semiconductores (por ejemplo, máquinas de litografía, sistemas de grabado y dispositivos de deposición) y lo hace ampliamente aplicable tanto en laboratorios de investigación como en líneas de producción industrial.
Cassette de obleas de 2 pulgadasCaracterísticas principales
(1) Alta limpieza y prevención de la contaminación
- Cassette de obleas de 2 pulgadas construido con polímeros de alta pureza (por ejemplo, PEEK, PTFE) o aleaciones de aluminio anodizado para minimizar la adsorción de partículas, cumpliendo con los estándares de sala limpia Clase 100 o incluso Clase 10.
- Algunos modelos cuentan con recubrimientos antiestáticos para evitar la atracción electrostática de partículas que podrían afectar las superficies de las obleas.
(2) Posicionamiento de alta precisión y sujeción segura
- El cassette de obleas de 2 pulgadas utiliza ranuras en V o mecanismos de cierre elástico para garantizar la fijación centrada de la oblea, evitando la desalineación o el deslizamiento con una precisión de posicionamiento de hasta ±0,05 mm.
- Los modelos de alta gama pueden admitir succión por vacío o fijación magnética, adecuados para entornos de transferencia de alta vibración o alta velocidad.
(3) Modularidad y compatibilidad
- Cassette de obleas de 2 pulgadas configurable con diseños de múltiples ranuras (por ejemplo, 5 ranuras, 25 ranuras) para adaptarse a los requisitos de producción por lotes o experimentales.
- Compatible con brazos robóticos automatizados (brazo robótico), lo que permite una integración perfecta en los sistemas de automatización de la línea de producción de semiconductores.
(4) Resistencia química y tolerancia a altas temperaturas
- El cassette de obleas de 2 pulgadas emplea cerámicas resistentes a ácidos/álcalis o plásticos especiales, lo que los hace adecuados para procesos de grabado húmedo o deposición química de vapor (CVD).
- Las variantes de alta temperatura pueden soportar entornos que superan los 200°C, ideales para aplicaciones de recocido o deposición a alta temperatura.
Cassette de obleas de 2 pulgadasAplicaciones principales
(1) Fabricación de semiconductores
- Procesamiento de obleas: cassette de obleas de 2 pulgadas utilizado para la fijación y transferencia de obleas en procesos como litografía, grabado e implantación de iones.
- Deposición de película delgada: el cassette de obleas de 2 pulgadas sirve como portador de obleas en equipos de deposición física de vapor (PVD) y deposición de capa atómica (ALD).
(2) Fabricación de optoelectrónica y MEMS
- Producción de chips LED/láser: el cassette de obleas de 2 pulgadas contiene obleas de semiconductores compuestos (por ejemplo, GaAs, GaN) durante la fabricación.
- Fabricación de sensores MEMS: Admite el procesamiento y la inspección de sistemas microelectromecánicos basados en silicio.
(3) Investigación y uso en laboratorio
- Investigación en ciencia de materiales: asegura muestras en instrumentos analíticos como difracción de rayos X (XRD) y microscopía electrónica de barrido (SEM).
- Desarrollo de nuevos semiconductores: facilita los procesos experimentales para perovskitas y materiales 2D (por ejemplo, grafeno).
(4) Pruebas y embalaje industrial
- Sondeo de obleas: el cassette de obleas de 2 pulgadas proporciona un soporte estable durante las pruebas de rendimiento eléctrico (por ejemplo, mediciones IV/CV).
- Empaquetado de chips: el cassette de obleas de 2 pulgadas contiene temporalmente obleas para procesos de corte o unión de matrices.
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Cassette de obleas de 2 pulgadas Preguntas y respuestas
1. P: ¿Para qué se utiliza un porta-cassette de obleas de 2 pulgadas?
R: El porta-cassette de obleas de 2 pulgadas almacena y transporta de forma segura 25 obleas pequeñas durante el procesamiento de semiconductores, lo que garantiza una manipulación limpia y sin daños en entornos de Clase 100.
2. P: ¿De qué materiales están hechos los cassettes de obleas de 2 pulgadas?
R: Por lo general, están hechos de PEEK, PTFE o aluminio anodizado de alta pureza para el control de la contaminación, y algunos modelos cuentan con recubrimientos antiestáticos para procesos sensibles.
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