1 pulgada de caja de obleas para almacenamiento de obleas seguro ESD
El casete de obleas de 1 pulgada es un contenedor especializado diseñado para almacenar, transportar y manejar automáticamente obleas de 1 pulgada (25,4 mm) en la fabricación de semiconductores, dispositivos optoelectrónicos,Investigación y desarrollo en microelectrónicaFabricado con polímeros de alta pureza (como PEEK o PVDF) o materiales antistaticos, garantiza la protección de la oblea contra la contaminación, el daño electrostático,y el impacto físico en ambientes de salas limpiasConforme a los estándares SEMI, el casete es adecuado para sistemas de transferencia de obleas automatizados en procesos que incluyen MOCVD, PECVD, litografía y grabado.
1 pulgadas de Wafer CassetteCaracterísticas clave
1Rendimiento ultra-limpio:
• 1 pulgada de Wafer Cassette certificado para la clase 100 de sala limpia con generación de partículas ultra-bajas (< 5 partículas/ft3 para > 0,1 μm)
• El acabado liso de la superficie evita que la oblea se rasque
2Protección ESD:
• Revestimiento reforzado con fibra de carbono o antistático con resistividad superficial de 106-109Ω/m2
• La caja de wafer de 1 pulgada previene eficazmente la atracción de partículas y el daño por descarga electrostática
3- Confiabilidad mecánica:
• Resistencia a altas temperaturas (hasta 150°C) y a sustancias químicas (a ácidos, álcalis y disolventes orgánicos)
• 1 pulgadas de Wafer Cassette con diseño sometido a pruebas de vibración para un transporte seguro
4Compatibilidad con la automatización:
• Interfaces estandarizadas de 1 pulgada (SMIF/FOUP compatibles) para el manejo robótico
• Compatible con los principales equipos de semiconductores (ASML, materiales aplicados, etc.)
5Protección de obleas de precisión:
• 1 pulgada de Wafer Cassette precisión de paso de ranura ± 0,1 mm con error de posicionamiento de la oblea ≤ 0,05 mm
• Rastreadores de etiquetas RFID opcionales para la trazabilidad de las obleas
1 pulgadas de Wafer CassetteAplicaciones principales
Fabricación de semiconductores:
• Procesamiento frontal (litografía, implantación de iones) de las obleas GaN/SiC
• Manejo de semiconductores tradicionales (Si, GaAs, InP)
• Producción de dispositivos de potencia (MOSFET/IGBT) y de dispositivos de RF (GaN)
2Optoelectrónica:
• El chip LED/MicroLED y el láser (VCSEL/EEL) para el manejo de obleas
• Procesamiento epitaxial con LED UV/IR/visibles
Aplicaciones de I+D:
• Cassette de 1 pulgada con experimentos con pequeñas obleas en instituciones académicas y de investigación
• Investigación de nuevos materiales optoelectrónicos (puntos cuánticos, perovskitas)
4MEMS Fabricación:
• Protección de las obleas de sensores (acelerómetros, giroscopios, sensores de presión)
• Fabricación de dispositivos MEMS biológicos y ópticos
5Envasado avanzado:
• El casete de wafer de 1 pulgada es un almacenamiento temporal para el embalaje a nivel de wafer (WLP) y la integración de IC 3D
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ZMSH provee cassettes de una a seis pulgadas, nosotros proveemos soluciones profesionales de almacenamiento y transferencia de obleas para la fabricación de semiconductores. El laboratorio de 1 pulgada se adapta a I + D para materiales GaAs, 2 pulgadas para procesamiento de LED / MEMS, 3 pulgadas para dispositivos de potencia SiC / GaN, 4 pulgadas para semiconductores de silicio convencionales y 6 pulgadas soporta la producción avanzada de IC. Todos los tamaños cumplen con las normas SEMI para una transferencia confiable en ambientes de sala limpia.
1 pulgadas de Wafer Cassette FAQ
1P: ¿Para qué se usa un cassette de una oblea de 1 pulgada?
R: Se usa principalmente para manejar y almacenar obleas semiconductoras de 1 pulgada en laboratorios de investigación y producción a pequeña escala de dispositivos optoelectrónicos.
2P: ¿De qué materiales están hechos los casetes de wafer de 1 pulgada?
R: Por lo general están hechos de polímeros de alta pureza como PEEK o PVDF con propiedades antiestáticas para compatibilidad con salas limpias.
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