Máquina de corte de alambre de diamante de tres estaciones y un solo alambre para el procesamiento de SiC/Zafiro/Silicio
La máquina de corte de alambre de diamante de tres estaciones y un solo alambre es un sistema de mecanizado de precisión totalmente automatizado diseñado específicamente para procesar materiales duros y frágiles altamente complejos. Con un diseño modular, integra tres estaciones de trabajo independientes para corte en bruto, acabado de precisión y pulido. Equipada con una estructura de pórtico de alta rigidez y un sistema de accionamiento de motor lineal de grado nano (precisión de posicionamiento repetido ±0,5μm), la máquina utiliza un solo alambre de diamante (diámetro 0,1-0,3 mm) para completar secuencialmente el mecanizado multiproceso, lo que permite una fabricación de precisión integral desde la pieza en bruto hasta el producto terminado. Es particularmente adecuada para escenarios de procesos de alta gama que requieren corte de forma especial, procesamiento de obleas ultrafinas y bajo daño superficial, apoyando de manera integral las necesidades de mecanizado de precisión para materiales semiconductores y optoelectrónicos, incluyendo silicio, carburo de silicio (SiC), zafiro y cuarzo.
Especificaciones técnicas de la máquina de corte de alambre de diamante de tres estaciones y un solo alambre
| Modelo |
Máquina de corte de línea simple de diamante de tres estaciones |
| Tamaño máximo de la pieza de trabajo |
600*600mm |
| Velocidad de funcionamiento del alambre |
1000 (MIX) m/min |
| Diámetro del alambre de diamante |
0.25-0.48mm |
| Capacidad de almacenamiento de línea de la rueda de suministro |
20km |
| Rango de espesor de corte |
0-600mm |
| Precisión de corte |
0.01mm |
| Carrera de elevación vertical de la estación de trabajo |
800mm |
| Método de corte |
El material está estacionario, y el alambre de diamante se balancea y desciende |
| Velocidad de avance de corte |
0.01-10mm/min (Según el material y el grosor) |
| Tanque de agua |
150L |
| Fluido de corte |
Fluido de corte de alta eficiencia antioxidante |
| Ángulo de oscilación |
±10° |
| Velocidad de oscilación |
25°/s |
| Tensión máxima de corte |
88.0N (Establecer unidad mínima 0.1n) |
| Profundidad de corte |
200~600mm |
| Hacer placas de conexión correspondientes de acuerdo con el rango de corte del cliente |
- |
| Estación de trabajo |
3 |
| Fuente de alimentación |
Trifásica de cinco hilos AC380V/50Hz |
| Potencia total de la máquina herramienta |
≤32kw |
| Motor principal |
1*2kw |
| Motor de cableado |
1*2kw |
| Motor de oscilación del banco de trabajo |
0.4*6kw |
| Motor de control de tensión |
4.4*2kw |
| Motor de liberación y recogida de alambre |
5.5*2kw |
| Dimensiones externas (excluyendo la caja del brazo oscilante) |
4859*2190*2184mm |
| Dimensiones externas (incluyendo la caja del brazo oscilante) |
4859*2190*2184mm |
| Peso de la máquina |
3600ka |
Principio de funcionamiento de la máquina de corte de alambre de diamante de tres estaciones y un solo alambre
1. Operación colaborativa de tres estaciones:
- Estación A (Corte en bruto): Corte a alta velocidad (1-2 m/s) para dar forma rápida, dejando un margen de 0,05 mm.
- Estación B (Acabado de precisión): Recorte de precisión a baja velocidad (0,5 m/s) con una precisión de hasta ±0,01 mm.
- Estación C (Pulido): El pulido químico-mecánico (CMP) o el tratamiento con láser logran una rugosidad superficial Ra<0.2μm.
2. Sistema de control inteligente:
- La sincronización basada en PLC garantiza transiciones de proceso sin problemas.
- El posicionamiento por visión artificial (precisión de 5μm) calibra automáticamente las trayectorias de corte.
Características y materiales compatibles de la máquina de corte de alambre de diamante de tres estaciones y un solo alambre
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Característica
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Descripción
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Características del material
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Integración de tres procesos
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Reduce la manipulación de la pieza de trabajo, disminuyendo la tasa de contaminación en un 90%
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Silicio (obleas ultrafinas <50μm), SiC (alta dureza)
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Corte de forma especial de alta precisión
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Admite formas complejas (arcos/biseles) con una precisión de perfil de ±0,02 mm
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Zafiro (grado óptico), cuarzo (baja expansión térmica)
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Control de tensión adaptativo
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Ajuste de tensión del alambre en tiempo real (20-50N) evita la rotura
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Cerámica (AlN/Al₂O₃), sustratos compuestos
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Compatibilidad multimat erial
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Cambio rápido de parámetros para diferentes materiales
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Cristales especiales (LiNbO₃), diamante CVD
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Máquina de corte de alambre de diamante de tres estaciones y un solo alambreVentajas técnicas
- Eficiencia: El procesamiento continuo de tres estaciones reduce el tiempo de ciclo en un 40%.
- Calidad: La estación de pulido logra una capa de daño superficial <10nm, mejorando el rendimiento del dispositivo en un 20%.
- Flexibilidad: El funcionamiento independiente de la estación se adapta a las necesidades de I+D y de pequeños lotes.
- Inteligencia: Seguimiento de datos de IoT con monitoreo en tiempo real de la fuerza de corte y la temperatura.
Máquina de corte de alambre de diamante de tres estaciones y un solo alambreáreas de aplicación principales
1. Fabricación de dispositivos de potencia semiconductores:
- Procesamiento de zanjas de MOSFET de SiC: La colaboración de tres estaciones primero corta en bruto los perfiles de las zanjas, luego termina con precisión las paredes laterales (tolerancia de ángulo de ±0,1°) y finalmente pule para lograr una rugosidad superficial de la zanja Ra<10nm, mejorando significativamente el rendimiento de conmutación.
- Corte de obleas IGBT ultrafinas: Para obleas de silicio <50μm de espesor, la tecnología de corte compuesto "descendente + oscilante" controla el astillado a 99.8% de rendimiento.
2. Componentes ópticos de electrónica de consumo:
- Procesamiento de cubiertas de zafiro curvas 3D: Corta en bruto los contornos básicos, termina con precisión las superficies curvas (radio R0.5mm±0.01mm) y pule para lograr una transmitancia >93% para módulos de cámara de teléfonos inteligentes y pantallas de relojes inteligentes.
- Fabricación de matrices de microprismas: Procesa estructuras de prismas a nivel de micras (50-200μm de profundidad) en vidrio de cuarzo, asegurando un error de paso de la matriz <1μm.
3. Investigación avanzada e ingeniería especial:
- Procesamiento de material de ventana de dispositivo de fusión: Corte de forma especial de diamante CVD (0.3-1 mm de espesor) evita la grafitización, manteniendo una conductividad térmica >2000W/m·K.
- Componentes de protección térmica de cerámica aeroespacial: Corte de microcanales (0.1 mm de ancho/1 mm de profundidad) en sustratos de AlN logra una rugosidad de la pared del canal Ra<0.1μm, reduciendo la resistencia al fluido.
Preguntas frecuentes sobre la máquina de corte de alambre de diamante de tres estaciones y un solo alambre
1. P: ¿Cuáles son los beneficios del corte con alambre de diamante de 3 estaciones?
R: Combina corte en bruto, acabado de precisión y pulido en un solo sistema, reduciendo el tiempo de procesamiento en un 40% y mejorando la calidad de la superficie (Ra<0.2μm).
2. P: ¿Qué materiales se pueden procesar con esta máquina?
R: Materiales duros/frágiles como SiC, zafiro, silicio, cuarzo y cerámica con una precisión de ±0.01mm.
Etiquetas: #Máquina de corte de alambre de diamante de tres estaciones y un solo alambre, #Procesamiento de SiC/Zafiro/Silicio
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