Datos del producto:
Pago y Envío Términos:
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Tamaño: | 2inch 3inch 4inch 6inch 8inch 12inch | VAL: | < 0.5µm |
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TTV: | < 2µm/3µm/5µm | Tipo de superficie: | ssp/dsp |
La rugosidad de la superficie: | ≤ 1 nm | Aplicaciones: | Máscaras de litografía de semiconductores, Dispositivos ópticos UV |
Resaltar: | Wafers de cuarzo de 12 pulgadas,Wafers de cuarzo de 6 pulgadas,Obleas del cuarzo de 4 pulgadas |
Las obleas de cuarzo son sustratos de precisión hechos de materiales sintéticos de cuarzo de alta pureza, ampliamente utilizados en semiconductores, optoelectrónica, óptica y sistemas microelectromecánicos (MEMS). ZMSH se especializa en I + D y producción de materiales semiconductores de cuarzo, ofreciendo productos como obleas de cuarzo, ventanas ópticas de cuarzo, tubos de cuarzo y barcos de cuarzo,con obleas de cuarzo como nuestra línea de productos principal. Proporcionamos soluciones personalizadas para obleas de 2 a 12 pulgadas, que cumplen con requisitos específicos en dimensiones, grosor y tratamientos de superficie (polido, recubrimiento, etc.).
ZMSH ofrece disponibilidad en stock y servicios de mecanizado personalizados, garantizando una alta precisión (por ejemplo, TTV ≤5μm), una planitud superior (Ra ≤1nm),y excelente resistencia a altas temperaturas (punto de ablandamiento hasta 1730°C). Nuestros productos se aplican ampliamente en la fabricación de semiconductores, tecnología de fotomascaras, sensores y sistemas láser.
Tamaño | En pulgadas | 2 pulgadas | 3 pulgadas | 4 pulgadas | 6 pulgadas | 8 pulgadas | 12 pulgadas |
Diámetro |
En el caso de los | 50.8 | 76.2 | 100 | 150 | 200 | 300 |
Término de la prueba | En el caso de los | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
El grosor | Mm | 100 y más | 100 y más | 100 y más | 300 y más | 400 y más | 500 y más |
Planta de referencia primaria | En el caso de los | 32.5 | 32.5 | 32.5 | 57.5 | Las demás: | Las demás: |
El valor de las emisiones de gases de efecto invernadero es el valor de las emisiones de gases de efecto invernadero. | Mm | Se trata de un5 | Se trata de un5 | Se trata de un5 | Se trata de un5 | Se trata de un5 | Se trata de un5 |
TTV | Mm | Sección 2 | Sección 2 | Sección 2 | Se trata de: | No se puede | El valor de las emisiones |
- ¿ Por qué? | Mm | ± 20 | ± 20 | ± 20 | ± 30 | ± 40 | ± 40 |
La velocidad warp. | Mm | ≤ 30 años | ≤ 30 años | ≤ 30 años | ≤ 40 | ≤ 50 | ≤ 50 |
El valor de las emisiones de gases de efecto invernadero es el valor de las emisiones de gases de efecto invernadero. | % | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% |
Redondeo del borde | En el caso de los | Semi S.T. | Semi S.T. | Semi S.T. | Semi S.T. | Semi S.T. | Semi S.T. |
Tipo de superficie | PPS/PDS | PPS/PDS | PPS/PDS | PPS/PDS | PPS/PDS | PPS/PDS | |
La rugosidad de la superficie | nm | ≤ 1 año | ≤ 1 año | ≤ 1 año | ≤ 1 año | ≤ 1 año | ≤ 1 año |
Las propiedades principales de las obleas de cuarzo incluyen:
1Material de alta pureza: Cuarzo sintético (por ejemplo, Suprasil o Corning 7980) con pureza de SiO2 ≥ 99,99%, lo que minimiza las impurezas en los procesos de semiconductores.
2Estabilidad térmica: Bajo coeficiente de expansión térmica (5,5×10−7/°C), resistente a temperaturas superiores a 1000°C en entornos extremos.
3. Rendimiento óptico: Alta transmitancia de longitudes de onda UV a IR (por ejemplo, > 90% en UV profundos), ideal para litografía y aplicaciones con láser.
4Precisión de la superficie: pulido de ultraprecisión con rugosidad de superficie (Ra) ≤ 0,5 nm y variación total del grosor (TTV) ≤ 5 μm.
5. Rango de tamaño: Tamaños estándar de:2 pulgadas, 4 pulgadas, 6 pulgadas, de 8 a 12 pulgadas, con soporte para especificaciones personalizadas.
6Inertitud química: Resistente a ácidos fuertes (excepto HF), álcalis y grabado por plasma, adecuado para procesos de semiconductores.
Las obleas de cuarzo desempeñan un papel fundamental en los sectores de tecnología avanzada, como se detalla a continuación:
Campo de aplicación | Utilizaciones específicas | Ventajas de las obleas de cuarzo |
Fabricación de semiconductores | - Substrato de las máscaras fotográficas - portadores de procesos de grabado - Pads de pulido para CMP - Oferta de adhesión temporal |
Alta planitud, baja expansión térmica, resistencia a la corrosión por plasma |
Dispositivos optoelectrónicos | - Ventanas láser. - Substratos de filtros ópticos - Substratos de sensores infrarrojos - Embalaje del fotodetector |
Alta transmitancia UV-IR, baja pérdida de absorción |
MEMS/NEMS | - Capas estructurales de las MEMS - Diafragmas de sensores de precisión - Plantillas de nanoimpresión |
Superficie ultra-lisera, alta rigidez, estabilidad química |
Dispositivos 5G y RF | - Substratos de filtro SAW/BAW - Base de antena de alta frecuencia - Resonadores dieléctricos de microondas |
Baja pérdida dieléctrica, funcionamiento estable de la señal de alta frecuencia |
Investigación y óptica | - Óptica de la radiación sincrotrónica - Ventanas de difracción de rayos X. - Espejos láser de alta potencia |
Resistencia a la radiación, alto umbral de daño por láser |
Nueva energía | - Substratos para revestimiento de células fotovoltaicas - Capas de electrolitos de las pilas de combustible - Investigación de separadores de baterías de litio |
Resistencia a altas temperaturas, prevención de la migración de iones |
Soluciones integrales de obleas de cuarzo: ZMSH proporciona producción de obleas de cuarzo personalizadas (2"-12" tamaños estándar / no estándar) con procesamiento de precisión (polido, recubrimiento, etc.) utilizando materiales de alta pureza (sílice fundido de grado UV), cuarzo de baja OH). Nuestros servicios incluyen obleas de 4"/6"/8" en stock, productos auxiliares (ventanas ópticas, tubos de cuarzo), certificación de pruebas completas y soporte técnico para la selección de materiales y optimización de procesos.
1P: ¿Qué tamaños de obleas de cuarzo están disponibles para aplicaciones de semiconductores?
R: Proporcionamos obleas de cuarzo estándar de 2 pulgadas a 12 pulgadas con tamaños y especificaciones personalizados disponibles bajo petición.
2P: ¿Cuáles son las principales ventajas del uso de obleas de cuarzo en la fabricación de semiconductores?
R: Las obleas de cuarzo ofrecen una excepcional estabilidad térmica, alta pureza y excelente resistencia química, lo que las hace ideales para procesos de semiconductores exigentes.
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Persona de Contacto: Mr. Wang
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