Sustrato de cristal de cuarzo monocristalino transparente resistente al calor de 6 pulgadas para dispositivos SAW

Substrato de cristal de cuarzo monocristalino transparente resistente al calor de 6 pulgadas para dispositivos SAW

La oblea de cuarzo de 6 pulgadas (150 mm de diámetro) está fabricada con vidrio de cuarzo de alta pureza (pureza ≥ 99,999%) con un grosor que oscila entre 50 y 500 μm. La rugosidad de la superficie se controla hasta Ra ≤ 0,5 nm mediante CMP (polidor mecánico químico). El proceso de fabricación incluye: - ¿ Qué?

· Purificación de materias primas:Extracción de silicio de grado electrónico de la arena de cuarzo mediante procesos de cloración y reducción, alcanzando una pureza del 99,9999%. - ¿ Qué?

· Crecimiento de cristal único:El cultivo de varillas de silicio de cristal único mediante el método de Czochralski (CZ), con una densidad de defecto < 1 defecto/cm2. - ¿ Qué?

· Cortado y procesado:Cortar las barras de silicio en obleas de 150 mm mediante aserradura de alambre múltiple, seguida de pulido y grabado láser de doble cara para garantizar una tolerancia de grosor ≤ ± 15 μm.

Parámetro para 6Wafer de cuarzo de pulgadas

Principales características y ventajas de 6Wafer de cuarzo de pulgadas

La oblea de cuarzo de 6 pulgadas es una película delgada circular hecha de material de cuarzo de alta pureza, ampliamente utilizada en la fabricación de semiconductores, optoelectrónica y óptica de precisión.

· Alta pureza y resistencia térmica:El vidrio de cuarzo tiene una pureza ≥ 99,999%, punto de ablandamiento ~1730°C, tolerancia a corto plazo de hasta 1450°C.

- ¿ Qué?· Baja expansión térmica:Coeficiente de expansión térmica 0,5 × 10−6/°C (25-300°C), capaz de soportar choques térmicos (ΔT ≥ 800°C).

· Estabilidad química:Resiste la corrosión de todos los ácidos excepto el ácido fluorhídrico, con una resistencia a la corrosión 30 veces superior a la de la cerámica y 150 veces superior a la del acero inoxidable.

· Rendimiento óptico:Alta transmitancia en el espectro ultravioleta al infrarrojo cercano (luz visible > 93%, infrarrojo cercano > 95%).

- ¿ Qué?· Resistencia mecánica:Dureza de Mohs de 7, resistencia a la compresión superior al vidrio estándar.

Aplicaciones- ¿ Qué?de 6Wafer de cuarzo de pulgadas

1. Fabricación de semiconductores: se utiliza en diodos, transistores y MOSFET, para soportar la electrónica automotriz y los semiconductores de potencia.

2. Optoelectrónica: sirve como sustrato para fibras ópticas, dispositivos láser y guías de ondas en redes y centros de datos 5G.

3Óptica de precisión: se aplica en sistemas de imagen infrarroja, óptica láser y lentes de alta transmisión.

4. Sensores e instrumentos: componentes básicos de los sensores MEMS y de los equipos de diagnóstico médico.

5Aeroespacial: ventanas ópticas de alta temperatura y componentes resistentes al calor para naves espaciales.

Introducción del tubo de cuarzo

Los tubos de cuarzo son vidrios de cuarzo de alta pureza fabricados en estructuras tubulares, ampliamente utilizados en procesos de difusión/oxidación de semiconductores y equipos fotovoltaicos.

· Procesamiento personalizado: se admiten diámetros internos (5-50 mm), longitudes (100-1000 mm) y espesores de pared (0,5-3 mm).

· Ventajas técnicas: Funciona a 1100°C a largo plazo, con un bajo contenido de hidroxilo (< 1 ppm) y una alta resistencia a la contaminación, cumpliendo con los requisitos de limpieza de grado semiconductor.