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Datos del producto:
Pago y Envío Términos:
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Diámetro: | Las demás: | Tolerancia de espesor: | ± 0,02 mm |
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Variación del grosor total: | ≤10μm | La rugosidad de la superficie: | Ra ≤ 0.5 nm |
El paralelismo: | ≤3μm | Resistencia: | > 1016 Ω·cm |
Resaltar: | Wafer de cristal de cristal de cuarzo de 6 pulgadas,Wafer de cristal de cristal de cuarzo de 150 mm,Wafer de vidrio de cristal de cuarzo de SiO2 |
ZMSH se especializa en la fabricación de obleas de cuarzo de 6 pulgadas, ofreciendo:
Personalización de varios tamaños: obleas estándar de 6 pulgadas más variantes de 4 ", 8" y 12 "
Procesamiento de bordes: opciones para bordes biselados, muescas y planos de orientación
Tratamientos superficiales: pulido, recubrimiento y patrones personalizados
Pel aramétrico | Especificación |
Diámetro | Las demás: |
Rango de espesor | 0.5 mm~3.0 mm |
Tolerancia de espesor | ± 0,02 mm |
Variación del grosor total | ≤ 10 μm |
Roughness de la superficie (polidas) | ≤ 0,5 nm Ra |
El paralelismo | ≤ 3 μm |
CTE (20-300°C) | 0.55×10−6/°C |
Transmisibilidad @193nm | > 92% |
Resistencia | > 1016 Ω·cm |
Compatibilidad con el vacío | 10−10 Torr |
Fuerza de flexión (reforzada) | 500-700 MPa |
Características | Especificación técnica |
Alta pureza | ≥ 99,999% contenido de SiO2 |
CTE (20-300°C) | 0.55×10−6/°C (expansión térmica muy baja) |
Resistencia a la tracción | 50 a 70 MPa (disponibles opciones reforzadas químicamente) |
Transmisibilidad óptica | > 92% @ 190-3500nm (espectro UV a NIR) |
Propiedades eléctricas | Resistencia > 1016 Ω·cm, coeficientes piezoeléctricos |
1Fabricación de semiconductores
Las obleas de cuarzo de 6 pulgadas se utilizan ampliamente enembalaje de semiconductores,Fabricación de chips, y campos afines, en particular en la producción de:
- Los chips de memoria(DRAM, NAND Flash) ¿Qué quieres decir?
- Dispositivos analógicos y de potencia(IGBT, MOSFET)
- Sensores avanzados.(MEMS, sensores de imagen CMOS)
2Componentes ópticos
Debido a sualta transmisión ópticayCTE muy baja, las obleas de cuarzo son ideales para:
- Lentes de precisión(asféricas, matrices de microlentes)
- Filtros ópticos(Pasado de banda, dicroico)
- Guías de ondas(IC fotónicos, elementos de acoplamiento de fibra)
3. MEMS (Sistemas micro-electro-mecánicos)
Las obleas de cuarzo sirven como sustratos de primera calidad para los dispositivos MEMS debido a suEstabilidad dimensionalyresistencia mecánica, incluidos:
- Los microsensores.(presión, inercia, biosensores)
- Microactuadores(interruptores de RF, transductores piezoeléctricos)
- Resonadores.(filtros 5G, dispositivos de tiempo)
4. Dispositivos LCD TFT de poli-si de alta temperatura
Las obleas de cuarzo son críticas en la fabricaciónpantallas de alto rendimiento, concretamente:
- Planas traseras TFT HTPS (poli-Si de alta temperatura)
- Microdisplays(AR/VR, LCoS)
- Los paneles LCD avanzados(substratos de encapsulación OLED)
Proporcionamos soluciones de extremo a extremo:
1Selección del material: cuarzo JGS1/JGS2, sílice sintético fundido
2Mecanizado de precisión:
- Cortado por láser (tolerancia ± 5 μm)
- Perforación por ultrasonidos (proporción de aspecto 10:1)
3Ingeniería de superficie:
- Nano pulido (Ra < 0,3 nm)
- Recubrimientos antirreflejos DUV/IR
4Garantizar la calidad:
- Procesamiento en salas limpias de clase 10
- Informes de metrología completos (TTV, curvatura, proa)
1P: ¿Cuáles son las ventajas de las obleas de cuarzo de 6 pulgadas sobre tamaños más pequeños en la fabricación de semiconductores?
R: Las obleas de cuarzo de 6 pulgadas (150 mm) proporcionan un 56% más de área utilizable que las obleas de 4 pulgadas, lo que reduce significativamente las pérdidas de exclusión de los bordes y mejora el rendimiento para el embalaje avanzado y la producción MEMS.
2. P: ¿Cómo afecta la pureza de las obleas de cuarzo (≥ 99,999%) a los procesos a altas temperaturas?
R: El cuarzo de pureza 5N minimiza los riesgos de contaminación en los procesos de recocido de HTPS TFT y semiconductores por encima de 1000 °C, garantizando propiedades dieléctricas constantes.
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Persona de Contacto: Mr. Wang
Teléfono: +8615801942596