- ¿ Qué?
Transmisibilidad de las obleas de cuarzo de grado óptico de 3 pulgadas > 92% Substratos de vidrio semiconductor
ZMSH se especializa en obleas de cuarzo de 3 pulgadas fabricadas a medida, ofreciendo soluciones a medida para aplicaciones optoelectrónicas, MEMS y semiconductores avanzadas. A diferencia de las obleas estándar de 2 pulgadas, las obleas de cuarzo de 3 pulgadas proporcionan una superficie ampliada para la integración de múltiples componentes, lo que permite dispositivos de alta precisión con un rendimiento mejorado. Las características principales incluyen: - ¿ Qué?
· Material: Silicio fundido de alta pureza (SiO2) con un contenido de hidroxilo < 50 ppm, que garantiza una pérdida óptica muy baja.
· Dimensiones: Diámetros y espesores personalizados (3,00" ±0,02") (0,525~1,200 mm, TTV ≤10 μm). - ¿ Qué?
· Formas: geometrías circulares, cuadradas o irregulares con aberturas no estándar, bordes escalonados o espesor de gradiente. - ¿ Qué?
· acabado superficial: superficies ultra-lisas (Ra ≤ 1,0 nm) para una dispersión mínima de la luz.
Especificación paraWafer de cuarzo de 3 pulgadas
| Pel aramétrico |
Especificación |
| Diámetro |
3 pulgadas (76,2 mm) |
| Tolerancia de espesor |
± 0,02 mm |
| La rugosidad de la superficie |
≤ 1 nm (grado pulido) |
| Transmisibilidad @193nm |
> 92% |
| CTE (RT-300°C) |
0.55×10−6/°C |
| El paralelismo |
≤ 5 μm |
| Compatibilidad con el vacío |
10−9 Torr |
Características clave de lasWafer de cuarzo de 3 pulgadas
1. Superioridad óptica
- Transmisión de amplio espectro: >92% de transmitancia desde 185 nm (UV) hasta 3500 nm (IR), ideal para litografía UV y detección cuántica.
- Baja expansión térmica: CTE de 0,52×10−6/°C, manteniendo la estabilidad dimensional hasta 1100°C.
2. Resiliencia mecánica y química
- Alta dureza: a escala de Mohs 7, resistente a la abrasión y al choque mecánico.
- Resistencia al ácido: 30 veces mayor durabilidad que la cerámica, adecuada para ambientes químicos agresivos.
3- Rendimiento eléctrico.
- aislamiento: resistividad > 1018 Ω·cm, minimizando la capacidad parasitaria en circuitos de alta frecuencia.
- Compatibilidad SAW: Optimizado para filtros de onda acústica de superficie (SAW) con ángulos de corte precisos (por ejemplo, 34.33 ° para el corte FC).
- ¿ Qué?Aplicaciones estratégicas de lasWafer de cuarzo de 3 pulgadas
1. Dispositivos MEMS avanzados
- Sensores de presión, giroscopios, y cabezas de impresión de inyección de tinta aprovechando obleas de 3 pulgadas para la integración de múltiples capas y la estabilidad térmica.
2Sistemas optoelectrónicos
- Diodos láser UV, colimadores de fibra óptica y componentes LiDAR que requieren rutas ópticas de baja pérdida.
3. Envases de semiconductores
- sustratos de embalaje a nivel de obleas (WLP) para sensores de imagen CMOS y RFIC, que admiten la tecnología TSV (Through-Silicon Via).
4Tecnologías Cuánticas.
- Substratos para centros de vacío de nitrógeno de diamante (NV) y qubits superconductores, que se benefician de una densidad de defecto muy baja.
Los tubos capilares de cuarzo: Breve descripción
Los capilares de cuarzo de ZMSH están diseñados para aplicaciones microfluídicas y ópticas, con:
- Tamaños personalizados:Diámetros internos de 50 μm a 5 mm, longitudes de hasta 300 mm. - ¿ Qué?
- Ultra alta pureza:< 1 ppm de impurezas metálicas para la biocompatibilidad en sistemas de laboratorio en un chip. - ¿ Qué?
- Procesamiento:Perforación láser, formación térmica y grabado químico para una integración perfecta en sensores o fibras ópticas.
Preguntas frecuentes
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