Sustrato de cuarzo de 3 pulgadas, alta pureza, oblea de sílice fundida, 76,2 mm de diámetro, JGS1/JGS2

Sustrato de cuarzo de 3 pulgadas, oblea de sílice fundida de alta pureza, 76,2 mm de diámetro, JGS1/JGS2

​La oblea de cuarzo de 3 pulgadas (76,2 mm) es un sustrato de sílice fundida de alta pureza y formato grande, diseñado específicamente para aplicaciones avanzadas de semiconductores, optoelectrónica y óptica de precisión que requieren áreas de procesamiento más grandes. En comparación con las obleas de 2 pulgadas, la especificación de 3 pulgadas mejora la eficiencia de la producción y reduce la pérdida en los bordes, lo que la hace particularmente adecuada para dispositivos MEMS fabricados en lotes, fotomáscaras avanzadas y sistemas ópticos láser.

ZMSH se especializa en la producción personalizada de obleas de cuarzo de gran tamaño, ofreciendo:

· Cobertura de tamaño completo:Desde obleas de 2 pulgadas hasta 12 pulgadas, compatible con la personalización de tamaños no estándar

· Procesamiento de formas complejas:Obleas redondas, placas cuadradas y cortes de formas especiales (por ejemplo, en forma de sector, corte en D)

· Tratamiento de superficie multifuncional:Pulido de una o dos caras, recubrimientos (AR/IR/DLC), grabado de microestructuras

· Soluciones industriales:Limpieza de grado semiconductor (Clase 100), perforación láser, marcas de alineación de alta precisión

Especificación para oblea de cuarzo de 3 pulgadas

​​Características clave​​ de oblea de cuarzo de 3 pulgadas

- Homogeneidad de gran tamaño: TTV≤15μm a 76,2 mm de diámetro asegura la uniformidad del proceso en áreas grandes

- Optimización UV profunda: >92% de transmitancia a 193 nm, compatible con la litografía ArF y aplicaciones láser DUV

- Resistencia al choque térmico: Coeficiente de expansión térmica 0,55×10⁻⁶/°C, resiste ciclos de temperatura rápidos (1000°C/min)

- Inercia de grado químico: Resistente a la erosión por plasma, adecuado para entornos de grabado en seco y CMP

- Refuerzo mecánico: El refuerzo químico opcional aumenta la resistencia a la flexión en un 300% a 500 MPa

​​Aplicaciones principales​​ de oblea de cuarzo de 3 pulgadas

Soluciones personalizadas de prismas de cuarzo

ZMSH ofrece servicios de personalización de prismas de cuarzo para longitudes de onda de UV a IR, incluidos prismas de ángulo recto, pentaprismas y prismas divisores de haz, con:

· Precisión de superficie a nivel nanométrico (λ/10@632.8nm)

· Recubrimientos especiales (recubrimientos resistentes a daños por láser, recubrimientos divisores de haz polarizantes)

· Procesamiento integrado (estructuras híbridas prisma-oblea, diseños de enfriamiento por microcanales)

Ideal para aplicaciones de vanguardia en la conformación de haces láser, análisis espectral y experimentos de física de alta energía.Preguntas frecuentes