Barcos de cuarzo Barcos de silicio fundido SiO2≥99.99% Rugosidad superficial Ra≤0.1μm Portador de obleas
Las embarcaciones de cristal de cuarzo son embarcaciones especializadas fabricadas a partir de dióxido de silicio de alta pureza (SiO2) mediante procesos de fusión a altas temperaturas.Estabilidad química, y transparencia óptica, sirven como componentes insustituibles en la fabricación de semiconductores, investigación y desarrollo de laboratorio, dispositivos médicos y aplicaciones industriales de alta temperatura.Diseñados para equilibrar estructuras de precisión con límites de rendimiento del material, estas embarcaciones funcionan de manera estable en temperaturas extremas (-270°C a 1450°C) al tiempo que resisten ácidos fuertes, álcalis e interferencias electromagnéticas.Se utilizan ampliamente para transportadores de procesos de alta temperaturaLa demanda de barcas de vidrio de cuarzo en la fabricación de chips, con el auge de los semiconductores de tercera generación y las nuevas industrias energéticas, ha aumentado considerablemente.Envases láser, y los sistemas de reacción a alta temperatura continúan creciendo, consolidando su papel como infraestructura crítica en laboratorios avanzados y líneas de producción.
Especificación paraembarcaciones de cuarzo
| Composición química: |
SiO2 99,9%; 99,98% |
| Densidad: |
2.2 (g/cm3) |
| Dureza de Mohs: |
6.6 |
| Punto de fusión: |
1732 °C |
| Temperatura de funcionamiento: |
1100 °C |
| Temperatura máxima a corto plazo: |
1450 °C |
| Resistencia al ácido: |
30 × cerámica / 150 × acero inoxidable |
| Transmisibilidad de la luz visible: |
> 93% |
| Transmisibilidad UV: |
El 80% |
| Resistencia eléctrica: |
10,000× vidrio convencional |
| Punto de recocido: |
1215 °C |
| Punto de ablandamiento: |
1730 °C |
Tipos de materiales de lasembarcaciones de cuarzo
| El tipo |
Características |
Aplicaciones |
| Barco de cuarzo transparente |
grado JGS1 (grado UV), contenido de OH < 5 ppm, transmisión > 90% @ 185 nm |
Litografía, epitaxia (procesos óptico-sensibles) |
| Barco de cuarzo opaco |
Apariencia lechosa, porosidad < 0,3%, resistencia al choque térmico mejorada en un 50% |
Difusión, recocido (procesos de alta temperatura) |
| Barco de cuarzo sintético |
Procesado por CVD, impurezas metálicas < 0,1 ppm, resistencia superior a la corrosión por plasma |
Grabación, implantación iónica (procesos en seco) |
| Barco de cuarzo dopado |
Ti/Ce-dopado, resistente a la cristalización hasta 1300°C |
Crecimiento del silicio monocristalino, MOCVD (entornos de temperaturas ultra altas) |
Las aplicaciones principales deembarcaciones de cuarzo
| Industria |
Casos de uso típicos |
Requisitos esenciales |
| Semi-conductores |
Difusión de obleas, portadores de procesos LPCVD |
Deformación a altas temperaturas < 0,1 mm/300 mm |
| Productos fotovoltaicos |
Difusión de la célula PERC en P, capa de óxido del túnel TOPCon |
Resistencia a la corrosión del POCl3 ≥ 200 ciclos |
| Epitaxia LED |
Contenedores de obleas para cámaras de reacción MOCVD |
La rugosidad de la superficie ≤ 0,05 μm |
| Anulación de precisión |
Materiales magnéticos, tratamiento térmico de aleaciones especiales |
Resistencia a la erosión del vapor metálico |
| Equipo de investigación |
Sustentadores de muestras sincrotrón de línea de haz, sustratos de MBE |
Compatibilidad con vacío ultra alto (< 10−8 Pa) |
Las principales ventajas deembarcaciones de cuarzo
1. Rendimiento térmico extremo
· Temperatura de funcionamiento a largo plazo: 1100°C (a corto plazo hasta 1450°C)
· 1000 ciclos térmicos (-196°C~1200°C) sin agrietamiento
2Estabilidad química
· Resiste todos los ácidos fuertes excepto HF (98% H2SO4, 37% HCl, etc.)
· 3 veces mejor resistencia al alcalino que la cerámica convencional
3Propiedades físicas
· Conductividad térmica: 1,4 W/mK (impide la acumulación de calor)
· Resistencia dieléctrica: 40 kV/cm (a 20°C)
4Control de la limpieza
Producido en salas limpias de clase 10
· Cuentas de partículas superficiales ≤ 5/cm2 (≥ 0,3 μm)
Servicios de la ZMSH
ZMSH se especializa en barcos de vidrio de cuarzo personalizados para semiconductores, fotovoltaicos y optoelectrónica. Equipados con un instituto de investigación de cuarzo y un laboratorio certificado por CNAS, utilizamos sistemas de inspección 3D láser para lograr una precisión de mecanizado de ± 0.01 mm y un tratamiento de superficie a nivel atómico. Nuestro equipo de ingenieros ofrece soporte de extremo a extremo desde el diseño estructural, la simulación térmica hasta la validación del proceso,con experiencia en aplicaciones de temperaturas ultra altas (1600°C) y choque térmico extremo (ΔT≥1200°C). A través de nuestra sala limpia Clase 10 y línea de producción inteligente, acomodamos prototipos de I+D.
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