Pinos elevadores de zafiro de precisión de cristal único Al2O3 resistente al desgaste para posicionar las obleas con alta precisión
Los pines elevadores de zafiro son componentes mecánicos de precisión fabricados con zafiro de cristal único de alta pureza, diseñados para posicionar con alta precisión, resistencia a altas temperaturas,y aplicaciones de uso intensivo . ZMSH proporciona servicios de personalización de parámetros completos (incluyendo diámetro, longitud, rugosidad de la superficie y optimización de orientación cristalográfica),apoyo a la entrega rápida de lotes pequeños para satisfacer las exigencias de rendimiento extremas de los semiconductores, el sector médico, aeroespacial e industrial.
Características clave
1. Resistencia mecánica ultra alta: con una resistencia a la compresión superior a 300.000 psi, estos pines soportan cargas de elevación de alta frecuencia (por ejemplo,Sistemas de manipulación de obleas de 12 pulgadas en la fabricación de semiconductores).
Estabilidad a altas temperaturas: funcionan continuamente a 1.500°C y toleran una exposición a corto plazo de hasta 2.050°C (ideal para soldadura láser o posicionamiento en cámara de combustión).
3Bajo coeficiente de fricción: los coeficientes de fricción < 0,15 después del pulido minimizan la pérdida de energía durante el movimiento de precisión (por ejemplo, ajustes de etapa de litografía).
4. Inertitud química: Resistente a ácidos fuertes, álcalis y disolventes orgánicos, adecuado para salas limpias y entornos de grabado de semiconductores.
Parámetros técnicos
| Composición química |
Al2O3 monocristalino |
| Dureza |
9Mohs |
| Naturaleza óptica |
Uniaxial |
| Indice de refracción |
1.762-1. ¿Qué quieres decir?770 |
| Infracción |
0Es un.008-0.010 |
| Dispersión |
Bajo, 0.018 |
| El brillo |
Las demás |
| Pleocroísmo |
De moderado a fuerte |
| Diámetro |
0.4 mm-30 mm |
| Tolerancia del diámetro |
0.004 mm-0.05 mm |
| longitud |
2 mm a 150 mm |
| tolerancia de longitud |
0.03 mm-0.25 mm |
| Calidad de la superficie |
40/20 por ciento |
| Superficies redondas |
¿Qué es eso?05 |
| Forma personalizada |
ambos extremos planos, radio de un extremo, radio de ambos extremos,
con una longitud de más de 20 mm, |
Aplicaciones principales
(1) Fabricación de semiconductores- ¿ Qué?
- ¿ Qué?· Sistemas de manipulación de obleas : Obtener una precisión de posicionamiento de ± 1 μm en fábricas de obleas de 12 pulgadas, con una duración de 200 ciclos/hora.
- ¿ Qué?· Calibración de la etapa de fotolitografía : Compensar la expansión térmica de las obleas de silicio (coeficiente de expansión térmica: 5,3×10−7/°C) mediante ajustes a escala nanométrica.
- ¿ Qué?(2) Dispositivos médicos- ¿ Qué?
- ¿ Qué?· Catéteres robóticos quirúrgicos : Los tubos de paredes ultra delgadas (< 50 μm) permiten intervenciones vasculares mínimamente invasivas sin daño tisular.
- ¿ Qué?· Calibración del equipo de radioterapia : Ajustar los puntos focales de radiación con una precisión de ±0,01 mm en los sistemas de terapia de protones.
- ¿ Qué?(3)Aeroespacial y Defensa- ¿ Qué?
- ¿ Qué?· Control de vectores de cohetes.: Aplicado en mecanismos de ajuste de posición, resistente a ciclos térmicos de -196°C a 1.200°C.
· Sistemas ópticos por satélite : Protege las cargas útiles externas durante las misiones en el espacio profundo, manteniendo la funcionalidad bajo vacío y radiación.
- ¿ Qué?(4) Industria y Investigación- ¿ Qué?
- ¿ Qué?· Etapas de la microscopía electrónica : Permite el posicionamiento ±5 nm en ambientes de vacío de 10−10 mbar.
· Reactores de fusión nuclear : Resisten la irradiación de neutrones (> 1015 n/cm2) y la erosión plasmática durante > 100 000 ciclos.
Preguntas frecuentes
- ¿ Qué?
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