Las máquinas de elevación de zafiro Las barras de zafiro Fabricación de precisión Aplicaciones industriales Manejo de obleas

Las máquinas de elevación de zafiro Las barras de zafiro Fabricación de precisión Aplicaciones industriales Manejo de obleas

ZMSH se especializa en la producción de pines elevadores de zafiro, con un enfoque en I + D, fabricación y ventas de materiales de cristal de zafiro.Los alfileres de zafiro son conocidos por su excepcional resistencia, alta dureza, resistencia a la corrosión y propiedades ópticas superiores, lo que los hace ideales para la fabricación de equipos de gama alta y aplicaciones de mecanizado de precisión.ZMSH ofrece servicios de procesamiento personalizados, capaz de diseñar y fabricar alfileres de zafiro con diversas especificaciones para satisfacer diversos requisitos industriales.

Especificación técnica

Funciones básicascon un diámetro de diámetro superior a 20 mm

Los pines elevadores de zafiro son componentes críticos en equipos de fabricación de semiconductores y LED, utilizados principalmente para la transferencia y posicionamiento de obleas.

1Apoyo de la oblea y movimiento vertical

En los procesos de deposición de película delgada (por ejemplo, MOCVD), grabado o litografía, los brazos robóticos accionan pines elevadores de zafiro para elevarse desde el piso de la cámara, apoyando con precisión las obleas (por ejemplo,2/4/6-pulgadas de sustratos) manteniendo el nivel de posicionamiento para facilitar las operaciones de carga y descarga.

2. Desempeño estable en ambientes de alta temperatura

El zafiro (Al2O3 de un solo cristal) tiene un punto de fusión extremadamente alto de 2050°C, lo que permite un funcionamiento prolongado por encima de 1000°C (por ejemplo,El aumento de GaN (crecimiento epitaxial de GaN) sin el riesgo de deformación térmica o contaminación de la oblea típico de los pines metálicos.

3Inertitud química para la integridad del proceso

Con una resistencia excepcional a ácidos, álcalis y entornos plasmáticos, el zafiro evita la liberación de impurezas durante los procesos de grabado o CVD,garantizar la pureza de la fabricación (especialmente crítico para semiconductores de banda ancha como SiC / GaN).

Ventajas clave
 

1Contaminación muy baja: en comparación con las alternativas metálicas (por ejemplo, molibdeno) o cerámicas (por ejemplo, AlN), el zafiro genera una mínima emisión de partículas, cumpliendo con los estándares de sala limpia de clase 10.

2Dureza excepcional (Mohs 9): la resistencia a los arañazos de la superficie extiende la vida útil más allá de 100.000 ciclos 5-8 veces más que los pines de cuarzo.

3. Coeficiente de expansión térmica igualado: la alineación cercana con las obleas SiC/GaN (~ 7,5×10−6/°C) minimiza la deformación o grieta inducida por el estrés térmico.

Aplicaciones típicascon un diámetro de diámetro superior a 20 mm

1. Producción de obleas epitaxiales LED: Apoya los sustratos de zafiro durante el crecimiento epitaxial de GaN en los reactores MOCVD.

2Fabricación de semiconductores de potencia: permite la implantación de iones a alta temperatura o procesos de recocido para obleas de SiC.

3Embalaje avanzado: asegura el posicionamiento de precisión a nivel de micrones para las obleas ultrafinas (depeso < 100 μm) en embalajes a nivel de obleas (WLP).

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ZMSH se especializa en barras de zafiro de alta calidad, diseñadas para una resistencia superior, estabilidad térmica y resistencia a la corrosión.Ofrecemos mecanizado de precisión para cumplir con las especificaciones exactas.