Conexión entre la oblea plana y la muesca
El plano y la muesca de la oblea son características importantes utilizadas para determinar la orientación de la oblea durante la fabricación de la oblea, y desempeñan un papel crucial en el procesamiento, alineación e inspección de la oblea.
1. Wafer Flat
"Wafer plana" se refiere a la parte plana del borde exterior de la wafer,que se utiliza para marcar la dirección específica de la oblea y garantizar que la oblea pueda alinearse correctamente durante el procesamiento y la eliminación de la obleaPiense en ello como un puntero de brújula que ayuda a guiar la colocación correcta de las obleas en el dispositivo.
Función y efecto:
Indicación de dirección: el borde de posicionamiento suele mostrar la orientación específica de la cara de cristal de la oblea.el borde de posición puede ayudar a indicar su orientación principalEsto se debe a que las estructuras cristalinas de silicio con diferentes orientaciones cristalinas difieren en propiedades físicas y eléctricas.y el papel del borde de posicionamiento de la oblea es garantizar que la orientación del cristal se identifique correctamente durante el procesamiento de la oblea.
Marca de alineación: en la fabricación de obleas, es necesario realizar operaciones de alineación de múltiples pasos, como alineación litográfica, alineación de grabado, etc.El borde de posicionamiento es como un identificador de coordenadas en un mapa para ayudar al dispositivo a alinear la posición de la oblea y garantizar la precisión del procesamiento.
Ejemplo de analogía: el borde de posicionamiento de una oblea se puede comparar con las líneas indicadoras en un rompecabezas, diciéndonos cómo ensamblar correctamente las diversas partes.Es posible que no podamos completar el rompecabezas correctamente..
2Noche de obleas
Una muesca de oblea es un pequeño corte o muesca en el borde exterior de una oblea.Pero su forma y función son diferentes.Por lo general, la muesca es una muesca física, mientras que el borde de posicionamiento es plano.
Función y efecto:
Posicionamiento preciso: La muesca se usa a menudo para proporcionar una identificación direccional más precisa, especialmente en obleas más grandes como obleas de 300 mm.el equipo de fabricación es capaz de identificar más fácilmente la orientación de la oblea, evitando errores de alineación debidos a la rotación o al ligero movimiento de la oblea.
Evitar errores de alineación: las muescas sirven como marcadores que ayudan al equipo de automatización a mantener la oblea orientada de manera más estable durante todo el proceso.
Ejemplo de analogía: se puede comparar la muesca con la posición de la válvula de un neumático de automóvil, aunque no afecta a la rotación del neumático,pero es un punto clave de la posición del neumático para asegurar que el neumático se puede instalar con precisión.
3. Conexión entre la oblea plana y la muesca
Las planas y las muescas de la oblea se complementan entre sí durante la fabricación de la oblea.mientras que las muescas proporcionan un marcador físico para un posicionamiento más precisoAmbos están presentes en la mayoría de las aplicaciones, especialmente en obleas grandes (como obleas de 300 mm).
Función de colaboración en el procesamiento de obleas:
El plano ayuda a determinar la orientación general de la oblea y asegura la alineación inicial de la oblea;La muesca proporciona además una característica física que ayuda al dispositivo a identificar la orientación con mayor precisión, garantizando la exactitud durante todo el proceso de fabricación.
4- Puntos de atención en las aplicaciones prácticas
Impacto durante la producción: La precisión del plano y de la muesca es fundamental para la precisión de mecanizado de toda la oblea.puede causar que las características eléctricas de toda la oblea sean inestables.Por lo tanto, en el proceso de producción, es muy importante garantizar la exactitud de estas características.
Diferencias en los métodos de marcado: Los diferentes proveedores de obleas pueden utilizar diferentes métodos de marcado, por ejemplo, algunas obleas pueden tener solo plano y sin muesca; Algunos pueden agregar muesca al plano.Al diseñar estas marcas, la compatibilidad del equipo y los requisitos del proceso de producción deben tenerse en cuenta.
5Conclusión
Los planos y las muescas de la oblea son diferentes en apariencia, pero juntos desempeñan un papel importante en la marca de la orientación de la oblea y garantizan la precisión de la alineación.Ayudándonos a determinar la dirección generalLa muesca es una característica física más precisa, que ayuda a garantizar la consistencia de la dirección durante la fabricación.especialmente en la producción de obleas de gran tamaño, desempeñando un papel más crítico.
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