Equipo de adelgazamiento de obleas

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April 15, 2025
Conexión De Categoría: Equipo del semiconductor
Este equipo permite el adelgazamiento de precisión de materiales semiconductores frágiles de 4"-12", incluyendo silicio (Si), carburo de silicio (SiC), arseniuro de galio (GaAs) y sustratos de zafiro, logrando una precisión de control de espesor de ±1 μm y una variación total de espesor (TTV) ≤2 μm para cumplir con los estrictos requisitos de la fabricación de empaquetado avanzado y dispositivos de potencia.
Escrito: Descubra el sistema de adelgazamiento de obleas equipo de adelgazamiento de precisión, compatible con 4-12 pulgadas SiC, Si, GaAs, y obleas de zafiro.Obtener un control del grosor de ±1 μm y un TTV de ≤2 μm para la fabricación de envases avanzados y dispositivos de potenciaOptimizado para semiconductores de banda ancha como el SiC.
Características De Productos Relacionados:
  • El adelgazamiento de precisión para materiales semiconductores frágiles de 4-12 pulgadas incluyendo Si, SiC, GaAs y zafiro.
  • Logra una precisión de control de espesor de ±1 μm y TTV ≤2 μm.
  • Optimización de los parámetros de molienda y los procesos de pulido para las diversas propiedades de los materiales.
  • Monitoreo de espesor en tiempo real automatizado e integrado para un rendimiento estable.
  • Soluciones de vacío para productos irregulares
  • Rectificado de husillo en alimentación de alta precisión con una precisión de mecanizado superior.
  • Operación fácil de usar con HMI ergonómico y control preciso del eje Z.
  • Admite modos de funcionamiento totalmente automático y semiautomático con medición de espesor en tiempo real.
FAQ:
  • ¿El equipo de adelgazamiento de obleas admite personalización?
    Sí, proporcionamos soluciones totalmente personalizadas, incluyendo chucks especializados para obleas irregulares y el desarrollo de recetas de proceso a medida.
  • ¿Qué precisión de control de grosor pueden lograr las máquinas de adelgazamiento de obleas?
    Los modelos premium logran una uniformidad de espesor de ± 0,5 μm con TTV≤1 μm (sistema de monitoreo de espesor de interferometría láser).
  • ¿Qué materiales son compatibles con el sistema de adelgazamiento de obleas?
    El sistema es compatible con materiales semiconductores frágiles de 4-12 pulgadas, incluidos el silicio (Si), el carburo de silicio (SiC), el arseniuro de galio (GaAs) y los sustratos de zafiro.