Este equipo permite el adelgazamiento de precisión de materiales semiconductores frágiles de 4"-12", incluyendo silicio (Si), carburo de silicio (SiC), arseniuro de galio (GaAs) y sustratos de zafiro, logrando una precisión de control de espesor de ±1 μm y una variación total de espesor (TTV) ≤2 μm para cumplir con los estrictos requisitos de la fabricación de empaquetado avanzado y dispositivos de potencia.
Escrito: Descubra el sistema de adelgazamiento de obleas equipo de adelgazamiento de precisión, compatible con 4-12 pulgadas SiC, Si, GaAs, y obleas de zafiro.Obtener un control del grosor de ±1 μm y un TTV de ≤2 μm para la fabricación de envases avanzados y dispositivos de potenciaOptimizado para semiconductores de banda ancha como el SiC.
Características De Productos Relacionados:
El adelgazamiento de precisión para materiales semiconductores frágiles de 4-12 pulgadas incluyendo Si, SiC, GaAs y zafiro.
Logra una precisión de control de espesor de ±1 μm y TTV ≤2 μm.
Optimización de los parámetros de molienda y los procesos de pulido para las diversas propiedades de los materiales.
Monitoreo de espesor en tiempo real automatizado e integrado para un rendimiento estable.
Soluciones de vacío para productos irregulares
Rectificado de husillo en alimentación de alta precisión con una precisión de mecanizado superior.
Operación fácil de usar con HMI ergonómico y control preciso del eje Z.
Admite modos de funcionamiento totalmente automático y semiautomático con medición de espesor en tiempo real.
FAQ:
¿El equipo de adelgazamiento de obleas admite personalización?
Sí, proporcionamos soluciones totalmente personalizadas, incluyendo chucks especializados para obleas irregulares y el desarrollo de recetas de proceso a medida.
¿Qué precisión de control de grosor pueden lograr las máquinas de adelgazamiento de obleas?
Los modelos premium logran una uniformidad de espesor de ± 0,5 μm con TTV≤1 μm (sistema de monitoreo de espesor de interferometría láser).
¿Qué materiales son compatibles con el sistema de adelgazamiento de obleas?
El sistema es compatible con materiales semiconductores frágiles de 4-12 pulgadas, incluidos el silicio (Si), el carburo de silicio (SiC), el arseniuro de galio (GaAs) y los sustratos de zafiro.