Descubra el avanzado equipo de unión de obleas diseñado para la unión hidrofílica y a temperatura ambiente de obleas de Si-SiC y Si-Si que van de 2 a 12 pulgadas. Este sistema de alta gama cuenta con alineación óptica de ultra alta precisión, control de temperatura/presión de circuito cerrado y es compatible con varios procesos de unión para la fabricación de dispositivos semiconductores de potencia.