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Especificación común para la semilla Roces del zafiro
Diámetro 0.2-300m m o arreglo para requisitos particulares (20x20m m, 10x10mml, dia20mm)
Tolerancia +/-0.1mm del diámetro a +/-0.01mm
Grueso 0.10-100m m (150m m)
± 0.1m m o +/-0.01mm de la tolerancia del grueso
Calidad superficial (rasguño y empuje) 60/40, 40/20 o better20/10
Exactitud superficial λ/10, λ/2, λ
Abertura clara el >85%, el >90%
Paralelismo +/--3 ', +/--30”
Grado biselado 0.1~0.3mm×45
¿de dónde es el zafiro?
El zafiro sintético es una sola forma cristalina de corindón, Al2O3, tambiénconocidocomoalfa-alúmina, alúmina,
y Al2O3del solo cristal. Elzafiroesóxidodealuminioenlaformamás purasinloslímitesde laporosidadodegrano, haciéndolateóricamentedensa. Lacombinacióndepropiedadesfavorablesde lasustancia química, eléctricas, mecánicas, ópticas, superficiales, termales, yde ladurabilidadhacezafirounmaterialpreferidoparalosdiseñosdelsistemaydelcomponentedelaltorendimiento. Paralosdiversosusosdelsemiconductor, elzafiroeslamejoropciónen comparación conotrossolo-cristalessintéticos.
Propiedades principales del zafiro:
Fórmula química | Al2O3 |
Clase cristalina | Sistema hexagonal, clase romboidal 3M |
Constantes del enrejado, A | a=4.785, c=12.991 |
Densidad, g/cm3 | 3,98 |
Punto de fusión, °K | 2303 |
Dureza | Knoop (daN/mm2): 1800 paralelo a C-AXIS, perpendicular 2200 a C-AXIS, Mohs: 9 |
Alcance de transmisión óptico, µm | 0.17 - 5,5 |
Índice de refracción en 0,532 µm | n0=1.7717, noreste =1.76355 |
Absorción de agua | nada |
Módulo joven, Gpa | 345 |
Módulo del esquileo, Gpa | 145 |
Módulo a granel, Gpa | 240 |
Módulo de doblez (módulo de la ruptura), Mpa | 420 en 20°C, 280 en 500°C |
Coeficiente elástico | C11=496, C12=164, C13=115, C33=498, C44=148 |
Ratio de Poisson | 0.25-0.30 |
Coeficiente de la fricción | 0,15 en el acero, 0,10 en el zafiro |
Resistencia a la tensión, MPa | 400 en 25°, 275 en 500°, 345 en 1000° |
Fuerza flexural, daN/mm2 | 35 a 39 |
Fuerza compresiva, GPa | 2,0 |
Módulo de Young E, daN/mm2 | 3,6 x 104 a 4,4 x 104 |
Calor específico, j (kilogramo x K) | 105 en 91°K, 761 en 291°K |
Coeficiente termal de la extensión linear, K-1, en323K | paralelo 6,66 x 10-6 al eje óptico, perpendicular 5 x 10-6 al eje óptico |
Conductividad termal, con (m x K) en 300K | paralelo 23,1 al eje óptico, perpendicular 25,2 al eje óptico |
Resistencia, ohmio x cm | 1016 (25°), 1011 (500°), 106 (1000°) |
Constante dieléctrica | 11,5 ((103 - 109 herzios, 25°) perpendicular 103 - 109 herzios, 25°) paralelos a C-AXIS, 9,3 a C-AXIS |
Fuerza dieléctrica, V/cm | 4 x 105 |
Tangente de la pérdida | 1 x 10-4 |
Solubilidad - en agua - en el HNO3, H2TAN4, ácido clorhídrico, HF - en alcalis - en derretimientos de los metales magnesio, Al, Cr, Co, Ni, Na, K, BI, Zn, Cs |
insoluble insoluble a 300°C insoluble a 800°C insoluble a 800-1000°C |
g - estabilidad de la radiación | Ningún cambio en la transmisión sobre 2,5 milímetros después de la exposición a 107 Rads. Ninguna coloración visible después de la exposición a 108 Rads/hr por 60 minutos en - 195°C |
Estabilidad de la radiación de Proton | Ningún cambio en la transmisión debajo de 0,3 µm después de la exposición a 1012 protones/a los cm2s de dosis total |
Resistencia química |
El zafiro está altamente inerte y resistente al ataque en la mayoría de los ambientes de proceso incluyendo el ácido hidrofluórico y los usos del plasma del flúor encontró comúnmente en el proceso de la oblea de semiconductor (NF3, CF4) |
¿cuál es advantagement del zafiro?
1-Thinner y Windows de cristal más fuertemente que estándar
longitudes de onda 2-Transmits que se extienden de ULTRAVIOLETA a Mediados de-infrarrojo
dureza superficial extrema 3-Features y resistencia química
¿cuál es usos para el zafiro?
Substratos/obleas del zafiro: discos EPI-pulido, ópticamente pulido, traslapado o del como-corte del zafiro,
ventanas, substratos, espacios en blanco así como estructuras epitaxiales “silicio-en-zafiro” (SOS).
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